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更新時(shí)間：2023-01-30 09:42:39瀏覽次數(shù)：495

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GSL-2Z可以用于控制一種或兩種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐，這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動(dòng)架上，管式爐可以放在GSL-2Z的上面，氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥

詳細(xì)介紹

GSL-2Z可以用于控制一種或兩種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐，這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動(dòng)架上，管式爐可以放在GSL-2Z的上面，氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥。結(jié)合科晶集團(tuán)的管式爐，它可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐，用來(lái)研究氣體環(huán)境對(duì)材料的影響。

功能模塊	項(xiàng)目	參數(shù)

混氣系統(tǒng)	質(zhì)量流量控制器	工作電壓：185~245V/50Hz 輸出功率：18W 控制范圍：控制器1：1~199 SCCM 控制器2：1~499 SCCM 工作溫度：5~45 ºC 壓力：3x10⁶Pa 準(zhǔn)確度：±1% FS
	機(jī)械壓力表	測(cè)量范圍： -0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
	針閥	316不銹鋼
	混氣罐	Φ80X120mm
	截止閥	Φ1/4”316不銹鋼針閥
	尺寸	600x600x650 mm