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詳細(xì)介紹
光刻膠的前烘與堅(jiān)膜是微機(jī)械加工工藝中*的兩道工序.用于光刻膠烘干的熱板對(duì)表面溫度場分布的均勻性和溫度控制穩(wěn)定性均有較嚴(yán)格的要求.
根據(jù)您的實(shí)際應(yīng)用選擇一款適合的熱板：
1、經(jīng)濟(jì)型： NDK熱板
2、確定頂板材質(zhì)：
鋁合金（陶瓷保護(hù)層）---------NDK熱板
陽極氧化鋁-------------------EMS熱板、 WENESCO熱板
3、確定熱板尺寸：
150*150mm-------------EMS熱板
250*250mm-------------NDK熱板
更大尺寸--------------WENESCO熱板
4、確溫度：
更高------------------WENESCO熱板
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