小型桌上型高頻等離子表面處理裝置。

■ 操作性·功能
● 射頻13.56Mhz 0-300W高功率機(jī)型，發(fā)生器自動(dòng)匹配，無需調(diào)節(jié)反射波，進(jìn)一步增加的操作的便捷性。
● 標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)字式皮拉尼傳感器，實(shí)時(shí)顯示真空度，使得控制更為精確。
● 平行平板腔體非常適合于實(shí)驗(yàn)室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品，無需擔(dān)憂因?yàn)榍惑w材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?br>
■ 安全性·保護(hù)
● 裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報(bào)警燈，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和了解機(jī)器的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。
● 裝載有過電流漏電保護(hù)開關(guān)、自診斷回路、異常時(shí)蜂鳴器報(bào)警等安全功能。

■ 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
●等離子清洗機(jī)清洗效果好，清洗效率高，功率大，應(yīng)用范圍廣。
●對(duì)清洗樣品，沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達(dá)到常溫處理。
●高效的特制電極，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結(jié)構(gòu)，可保證樣品可得到全面有效的清洗。