1200℃高真空迷你CVD設(shè)備該組CVD設(shè)備為小型化CVD系統(tǒng)，核心是一款迷你管式爐，采用電阻絲加熱，設(shè)備*高溫度可達(dá)1200℃。儀器還包含一臺(tái)三路浮子流量計(jì)，一臺(tái)分子泵組，分別構(gòu)成了CVD的進(jìn)氣和出氣部分。

特點(diǎn)

1. 爐管右側(cè)有數(shù)顯真空計(jì)，用以控制爐管內(nèi)部的真空度和氣氛環(huán)境。

2. 系統(tǒng)采用PID智能控溫，控溫精度能達(dá)到±1℃。

3. 管式爐在操作上采用溫控表操作，可預(yù)設(shè)控溫曲線(xiàn)，

4. 一鍵啟停，便于使用，能夠簡(jiǎn)化實(shí)驗(yàn)操作進(jìn)而節(jié)約試驗(yàn)時(shí)間。

5. 高真空分子泵組可以有效提高本低真空度，提高反應(yīng)產(chǎn)物的質(zhì)量。 

技術(shù)參數(shù)