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詳細(xì)介紹
詳情介紹：
一、三溫區(qū)1600 CVD系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)：
造型優(yōu)美 做工精細(xì)
測(cè)溫精準(zhǔn) 控溫穩(wěn)定
超高溫加熱元件 工作溫度可高達(dá)1650℃
產(chǎn)品豐富 有多種型號(hào)供您選擇
二、詳細(xì)參數(shù)
造型優(yōu)美 做工精細(xì)
測(cè)溫精準(zhǔn) 控溫穩(wěn)定
超高溫加熱元件 工作溫度可高達(dá)1650℃
產(chǎn)品豐富 有多種型號(hào)供您選擇
二、詳細(xì)參數(shù)
| 加熱溫度 | 三溫區(qū) 獨(dú)立控溫 | 密封方式 | 水冷式真空法蘭 |
| 溫區(qū)長(zhǎng)度 | L:190mm;M:250mm;R:190mm; | 真空系統(tǒng) | 防返油式雙極旋片泵 |
| 工作溫度 | L:1300℃;M:1600℃;R:1300℃; | 系統(tǒng)真空 | 5～10Pa（如需更高真空度可選配其它泵） |
| 加熱爐管 | 高純剛玉外徑60mm，長(zhǎng)度1300mm | 制冷方式 | 9L水冷機(jī) |
| 氣體通道 | 三通道質(zhì)量流量計(jì) | 控溫系統(tǒng) | 多段可編程智能控溫，控溫精度±1℃ |
| 氣體量程 | A:100SCCM;B:300SCCM;C:500SCCM | 供電電源 | AC:220V 50Hz |
| 真空檢測(cè) | 進(jìn)口數(shù)字真空計(jì) | 備 注 | 如有其它要求 可按要求定制 |
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