詳細(xì)介紹
PP腔體八英寸勻膠機(jī)適用范圍:
勻膠機(jī)可以將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要應(yīng)用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領(lǐng)域。
PP腔體八英寸勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù):
旋涂儀 | 供電電壓 | AC220V,50Hz |
轉(zhuǎn)速 | 0~10000rpm | |
加速度 | 100~5000rpm/s | |
轉(zhuǎn)速分辨率 | 1rpm | |
單步時(shí)間 | 3000s | |
基片尺寸 | 直徑≤8英寸(200mm) | |
腔體材質(zhì) | PP工程材料 | |
操作方式 | 7寸高清LCD觸控屏 | |
滴膠方式 | 手動滴膠,可選購精密注射泵 | |
勻膠曲線 | 每條曲線5段,共可儲存5條曲線 | |
抽氣接口 | φ8mm 快擰接口 | |
整機(jī)尺寸 | 290mm×365mm×260mm | |
整機(jī)重量 | 12kg | |
排氣系統(tǒng) | 真空泵 | 干式機(jī)械泵 |
抽氣速率 | 1.1L/s | |
供電電源 | AC220V 50/60Hz |
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