技術(shù)參數(shù)

設(shè)備特點(diǎn)

● 單溫區(qū)加熱模塊以及兩個(gè)轉(zhuǎn)速可調(diào)的冷卻風(fēng)扇，在爐體的風(fēng)道處，可調(diào)節(jié)熔融物/結(jié)晶處界面的溫度梯度

● Φ25mm氧化鋁樣品臺(tái)，帶有溫度測(cè)試，可**顯示坩堝底部的溫度和測(cè)出爐膛內(nèi)的溫度分布圖。

● 電動(dòng)升降樣品臺(tái)便于客戶(hù)放樣和取樣

電源需求

● 電壓：AC380V 三相

● 功率：9.5KW

工作溫度

● *高工作溫度：1500℃

● 連續(xù)加熱溫度：1450℃

● 加熱元件：硅鉬棒

爐管&法蘭

● 剛玉管：尺寸φ40 x 1200 mm L

● 配有一套不銹鋼密封法蘭，可保證在真空或惰性氣氛下進(jìn)行單晶生長(zhǎng)

樣品臺(tái)

● 氧化鋁樣品臺(tái)：Φ25*25mmH

● 一個(gè)S型熱偶嵌入在樣品臺(tái)底部，可實(shí)時(shí)測(cè)量樣品的溫度 

加熱區(qū)

1個(gè)加熱區(qū)，加熱區(qū)總長(zhǎng)度240mm

溫控系統(tǒng)

● 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序

● 帶有超溫和斷偶保護(hù)

● 控溫精度：+/-2℃.

● S型熱電偶

冷卻風(fēng)扇

速度可調(diào)的冷卻風(fēng)扇安裝在爐體底部出口

爐體移動(dòng)行程 & 速度

● 爐體向上移動(dòng)，樣品就相對(duì)于爐體向下移動(dòng)

● 爐體移動(dòng)行程200mm

● 移動(dòng)速度：0.03-3mm/hr