詳細(xì)介紹
樣品臺(tái) | φ80mm | 至蒸發(fā)源間距 | 20mm~50mm可調(diào) | φ80mm |
直流濺射頭 | 數(shù)量 | 2" x1 |
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蒸發(fā)系統(tǒng) | 蒸發(fā)源 | 鎢絲籃 | *高溫度 | 1700℃ |
| 熱電偶 | S型熱電偶 |
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真空腔體 | 腔體尺寸 | φ180mm X 150mm | 觀察窗口 | 全向透明 |
| 腔體材料 | 高純石英 | 開(kāi)啟方式 | 頂蓋拆卸式 |
真空系統(tǒng) | 機(jī)械泵 | GHD-031B | 抽氣接口 | KF16 |
| 真空測(cè)量 | 電阻規(guī) | 排氣接口 | KF16 |
| 極限真空 | 10E-1Pa | 供電電源 | AC;220V 50/60Hz |
| 抽氣速率 | 旋片泵:4L/S | ||
濺射電源配置 | 數(shù)量 | 直流電源 x1 | *大輸出功率 | 150w |
其他 | 供電電壓 | AC220V,50Hz | 整機(jī)尺寸 | 500 X 350 X 400mm |
| 整機(jī)功率 | 1.5kw | 整機(jī)重量 | 15kg |
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