箱   體

1200mm（長）×770mm（下寬）×900mm（高）、材質(zhì)為3mm厚SUS304

前   窗

傾斜設(shè)計(jì)的操作面，8mm厚可拆卸鋼化玻璃視窗

手套 口

直徑220mm硬鋁合金實(shí)心棒材加工而成，經(jīng)耐腐蝕陽極氧化處理

手   套

美國諾斯丁基橡膠手套，手套口徑8英寸，厚度0.4 mm

壓   力

使用壓力區(qū)間為-12mbar—12mbar

壓力開關(guān)

德國哈斯瓦謝微壓壓力傳感器

照    明

使用LED燈帶，節(jié)能環(huán)保

置 物 架

箱體設(shè)置2層置物架

支    架

高920mm，安裝有萬向腳輪及不銹鋼水平支撐座

接    口

箱體設(shè)置多個(gè)KF40接口，以便于接入液體、氣體、信號(hào)等

電    源

220V、50Hz多孔灌膠插線板

過 濾 器

箱體進(jìn)出口處采用復(fù)合HEPA標(biāo)準(zhǔn)的過濾精度0.3微米高效過濾器

泄 漏 率

＜0.05vol%/h

自動(dòng)清洗

箱體帶自動(dòng)清洗功能，快速置換箱體氣氛

尺  寸

大過渡艙Φ390mm*600mm，材質(zhì)為3mm厚SUS304，活塞門。
小過渡艙Φ150mm*300mm，材質(zhì)為3mm厚SUS304

位  置

箱體右側(cè)有大小過渡艙各1個(gè)，箱體左側(cè)有1個(gè)小過渡艙

托  盤

大過渡艙內(nèi)設(shè)可滑動(dòng)300mm*450mm SUS304托盤。
小過渡艙內(nèi)設(shè)半圓形SUS304托盤。
小過渡艙蓋采用杠桿鎖壓緊式，開閉簡單方便且密封性能優(yōu)異

操  作

大過渡艙手動(dòng)開閉，具有自動(dòng)抽氣補(bǔ)氣功能，通過觸摸屏控制。
小過渡艙手動(dòng)開閉，三通球閥手動(dòng)操作抽氣補(bǔ)氣

真空度

≤－0.1MPa，帶顯示，配置德國WIKA耐震真空壓力表