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高真空滑軌爐 電阻爐/馬弗爐/退火爐

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更新時間:2025-01-25 09:56:22瀏覽次數(shù):563

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產(chǎn)品簡介

簡單介紹: 本套1200℃快速退火爐核心為一套滑道爐,實現(xiàn)加熱及退火的功能,進(jìn)氣端配有高精度三路質(zhì)量流量計,用以**控制管內(nèi)氣氛;同時設(shè)備配有渦輪分子泵組,能夠快速達(dá)到高真空環(huán)境,*大程度的排除空氣氣氛對實驗的干擾?;罓t由1200℃標(biāo)準(zhǔn)單溫區(qū)管式爐和高精度滑軌組成。管式爐采用電阻絲加熱,配合多晶纖維爐膛,升溫、保溫性能優(yōu)良?;?.....

詳細(xì)介紹

詳情介紹:

1200℃管式爐技術(shù)參數(shù):

供電電壓

AC220V,50Hz

*大功率

4KW

加熱溫區(qū)

單溫區(qū) 440mm

工作溫度

≤1200℃

控溫精度

±1℃

控溫方式

AI-PID 30段工藝曲線,可存儲多條

爐管材質(zhì)

高純石英

爐管尺寸

φ80mm I.D x 1000mm L

密封方式

不銹鋼真空法蘭

真空測量

機(jī)械式壓力表

工作氣體

氫氣、氮氣、氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體

三路質(zhì)量流量計參數(shù):

閥門類型

不銹鋼針閥

氣路數(shù)量

三路

承壓范圍

0.05~0.3MPa

量程

0~100 SCCM (H2)

0~200 SCCM(Ar)

0~500 SCCM(CH4)

流量控制范圍

±1.5%

混氣罐容積

750mL

氣路材料

304不銹鋼

管道接口

6.35mm卡套接頭

供電電源

AC220V 50Hz

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