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詳細(xì)介紹
詳情介紹：
該二維材料生長(zhǎng)設(shè)備由預(yù)熱爐、反應(yīng)爐，真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)以及軌道支架五部分組成。前端配的預(yù)熱爐能夠用來預(yù)熱蒸發(fā)固態(tài)源，反應(yīng)爐能夠提供反應(yīng)所需的熱環(huán)境。兩臺(tái)電爐均安裝在滑軌支架上，可以實(shí)現(xiàn)快速升降溫，提升實(shí)驗(yàn)效率。爐管內(nèi)配有熱電偶測(cè)溫，可以準(zhǔn)確控制反應(yīng)條件。所有電路均采用高清全彩觸摸屏控制，操作簡(jiǎn)單直觀易于上手。
供氣系統(tǒng)采用兩路質(zhì)量流量計(jì)，流量控制精密，操作簡(jiǎn)單直觀；真空系統(tǒng)采用高品質(zhì)雙極旋片真空泵，真空度可達(dá)1.0E-1Pa，*CVD晶體生長(zhǎng)實(shí)驗(yàn)的需要。
二維硫化鉬生長(zhǎng)設(shè)備用途：
本產(chǎn)品主要應(yīng)用于二維材料的CVD法生長(zhǎng)實(shí)驗(yàn)，尤其適合二維硫化鉬的制備。
二維硫化鉬生長(zhǎng)設(shè)備技術(shù)參數(shù)：
預(yù)熱爐 | 產(chǎn)品型號(hào) | CY-O1200-100I-T-S |
爐膛長(zhǎng)度 | 300mm | |
加熱區(qū)長(zhǎng) | 200mm | |
恒溫區(qū)長(zhǎng) | 100mm | |
工作溫度 | 0～1100℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
控溫模式 | 30段或50段程序控溫 | |
顯示模式 | LCD（高清全彩觸摸屏） | |
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |
單溫區(qū)管式爐 | 產(chǎn)品型號(hào) | CY-O1200-100I-T |
爐膛長(zhǎng)度 | 440mm | |
加熱區(qū)長(zhǎng) | 400mm | |
恒溫區(qū)長(zhǎng) | 200mm | |
工作溫度 | 0～1100℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
控溫模式 | 30段或50段程序控溫 | |
顯示模式 | LCD（高清全彩觸摸屏） | |
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |
爐管 | 爐管材質(zhì) | 高純石英 |
爐管長(zhǎng)度 | φ100mm x 1800mm | |
密封方式 | 304不銹鋼真空水冷法蘭 | |
法蘭接口 | 1/4英寸卡套接頭 | |
供氣系統(tǒng) | 兩路質(zhì)子流量計(jì) | 北京七星華創(chuàng)，質(zhì)子流量計(jì) |
流量范圍 | MFC1量程：0~200SCCM MFC2量程：0~200SCCM | |
測(cè)量精度 | ±1.5%F.S | |
重復(fù)精度 | ±0.2%FS | |
線性精度 | ±1%F.S. | |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤4s | |
工作壓力 | -0.15Mpa~0.15Mpa | |
流量控制 | LED高亮數(shù)碼管顯示，按鍵調(diào)節(jié) 每路氣體含有針閥單獨(dú)控制 | |
進(jìn)氣接口 | 可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管 | |
出氣接口 | 可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管 | |
連接方式 | 雙卡套接頭 | |
工作溫度 | 5~45℃ | |
氣體預(yù)混 | 配氣體預(yù)混裝置 | |
排氣系統(tǒng) | 機(jī)械泵 | 旋片泵 |
抽氣速率 | 4L/S | |
排氣接口 | KF16 | |
真空測(cè)量 | 電阻規(guī) | |
極限真空 | 1.0E-1Pa | |
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |
抽氣接口 | KF16 | |
軌道 | 軌道長(zhǎng)度 | 1.8m~2m 能實(shí)現(xiàn)兩個(gè)爐子一個(gè)爐位長(zhǎng)度的滑動(dòng)，實(shí)現(xiàn)快速升降溫 |
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