主要技術(shù)參數(shù)

雙

溫

區(qū)

管

式

爐

顯示模式

7英寸觸摸屏

真空控制

可通過參數(shù)設(shè)置，自動完成抽真空，恒壓工作

爐管材料

高純石英

爐管尺寸

直徑：50mm，長度1000mm

加熱溫區(qū)

兩溫區(qū)

溫區(qū)長度

200mm+200mm

工作溫度

室溫～1100℃

控溫精度

±1℃

升溫速率

建議10℃/min

控溫模式

可編程程序控溫

密封方式

真空法蘭密封

雙通道質(zhì)量流量計

氣體通道

兩通道

測量儀器

質(zhì)量流量計

A路量程

氫氣：0～500SCCM

B路量程

氬氣：0～1000SCCM

連接管道

拋光不銹鋼管

氣體緩沖器

1000ml

工作壓力

≦3Mpa

工作壓差

0.3MPa

管道接口

6.35mm卡套接頭

真空泵

抽氣接口

KF25

排氣接口

KF25

抽氣速率

24立方米/小時

極限真空

5.0E-2Pa

電機功率

1100W

電機轉(zhuǎn)速

1440轉(zhuǎn)/分鐘

真空計

傳感器類型

皮拉力

真空量程

1.0E-1Pa～1.0E5Pa

安裝方式

豎直放置

工作電壓

DC24V

相關(guān)配件

連接管道

KF25波紋管1米長

聚四氟管5米

石英爐管1根

爐管塞子4個

爐鉤1支

防護手套1雙

真空法蘭1套（帶密封圈、針閥、氣路接頭）