真

空

管

式

爐

產(chǎn)品型號(hào)

CY- O1200-50IIIT

爐管材質(zhì)

高純石英

爐管直徑

50mm（可選配60mm、80mm、100mm）

爐管長度

1300mm

爐膛長度

1060mm

加熱區(qū)長

300mm+300mm+300mm

工作溫度

0～1100℃

控溫精度

±1℃

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

LCD

密封方式

304不銹鋼真空法蘭

法蘭接口

1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭

可抽真空

4.4E-3Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

供

氣

系

統(tǒng)

產(chǎn)品型號(hào)

CY-3Z

氣體通道

3通道

測量部件

氣體質(zhì)量流量計(jì)

測量量程

A通道：0～100SCCM    H2氣

備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時(shí)需要特別注明?？筛鶕?jù)客戶的具體要求來選配對應(yīng)的氣體種類和量程的流量計(jì)。

B通道：0～300SCCM    N2氣

C通道：0～500SCCM    Ar氣

測量精度

±1.0%F.S

管道耐壓

3MPa

工作壓差

50～300KPa

連接管道

304不銹鋼

控制閥門

304不銹鋼針閥

接口規(guī)格

進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭

供電電源

AC:220V 50/60Hz

排

氣

系

統(tǒng)

機(jī)械泵

旋片泵

抽氣速率

1.1L/S

排氣接口

KF16

真空測量

電阻規(guī)

極限真空

1.0E-1Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

抽氣接口

KF16