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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統(tǒng)>>CY-O1200-50IIIT-3F-HV1200℃三溫區(qū)3路浮子供氣高... 行業(yè)專用設(shè)備

1200℃三溫區(qū)3路浮子供氣高... 行業(yè)專用設(shè)備

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  • 型號 CY-O1200-50IIIT-3F-HV
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更新時(shí)間:2026-05-04 09:42:22瀏覽次數(shù):405

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產(chǎn)品簡介

簡單介紹: 1200℃三溫區(qū)3路浮子供氣高真空CVD系統(tǒng)由三溫區(qū)管式爐、三路浮子流量計(jì)和高真空分子泵組組成。管式爐三個(gè)溫區(qū)分別由精密控溫儀表獨(dú)立控溫,通過調(diào)節(jié)各個(gè)溫區(qū)的溫度,該管式爐可以在加熱區(qū)內(nèi)形成三段溫度梯度或是形成較長的恒溫區(qū)域。每個(gè)溫區(qū)均可編輯30段升降溫程序,同時(shí)有過熱和斷偶保護(hù)功能。1200℃三溫區(qū)3路浮子供氣高真空CV......

詳細(xì)介紹

詳情介紹:

1200℃三溫區(qū)3路浮子供氣高真空CVD系統(tǒng)管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業(yè)人員經(jīng)過簡單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠的提高您的實(shí)驗(yàn)效率。

系統(tǒng)所配有的三路浮子流量計(jì),可以較為準(zhǔn)確的配制出實(shí)驗(yàn)所需的混合氣體;另有一壓力表安裝在浮子流量計(jì)正面,可以監(jiān)測氣體壓力及混合槽壓力。

本系統(tǒng)還配有精密分子泵組,可以達(dá)到1.0E-3pa級別的真空度,較普通機(jī)械泵可以為用戶提供更純凈嚴(yán)苛的實(shí)驗(yàn)環(huán)境。

適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實(shí)驗(yàn)。

技術(shù)參數(shù):

真

空

管

式

爐

產(chǎn)品型號

CY-O1200-50IIIT

爐管材質(zhì)

高純石英

爐管直徑

50mm(可選配60mm、80mm、100mm)

爐管長度

1300mm

爐膛長度

1060mm

加熱區(qū)長

300mm+300mm+300mm

工作溫度

0~1100℃

控溫精度

±1℃

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

LCD

密封方式

304不銹鋼真空法蘭

法蘭接口

1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭

可抽真空

4.4E-3Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

供

氣

系

統(tǒng)

產(chǎn)品型號

CY-3F

氣體通道

3通道

測量部件

氣體浮子流量計(jì)

測量量程

A通道:0~100ml/min    H2氣

備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時(shí)需要特別注明。可根據(jù)客戶的具體要求來選配對應(yīng)的氣體種類和量程的流量計(jì)。

B通道:16~160ml/min    N2氣

C通道:25~250ml/min    Ar氣

測量精度

±2.0%

管道耐壓

3MPa

工作壓差

50~300KPa

連接管道

304不銹鋼

控制閥門

304不銹鋼針閥

接口規(guī)格

進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭

排

氣

系

統(tǒng)

產(chǎn)品型號

CY-GZK103-A

分子泵

CY-600

前極泵

旋片泵

抽氣速率

分子泵:600L/S

綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達(dá):1.0E-3Pa

旋片泵:1.1L/S

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

真空測量

復(fù)合真空計(jì):電阻規(guī)+電離規(guī)

極限真空

1.0E-5Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz


免責(zé)聲明:本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等),僅供參考??赡苡捎诟虏患皶r(shí),會(huì)造成所述內(nèi)容與實(shí)際情況存在一定的差異,請與本公司銷售人員聯(lián)系確認(rèn)。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,本公司會(huì)不定期*和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知,請您見諒。

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