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詳細(xì)介紹
詳情介紹：
1200℃單溫區(qū)3路浮子供氣高真空CVD系統(tǒng)系統(tǒng)所配有的三路浮子流量計(jì)，可以混合1~3路氣體，較為準(zhǔn)確的配制出實(shí)驗(yàn)所需的混合氣體；另有一壓力表安裝在浮子流量計(jì)正面，可以監(jiān)測(cè)氣體壓力及混合槽壓力。
本系統(tǒng)還配有精密分子泵組，可以達(dá)到1.0E-3pa級(jí)別的真空度，較普通機(jī)械泵可以為用戶提供更純凈嚴(yán)苛的實(shí)驗(yàn)環(huán)境。
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測(cè)等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實(shí)驗(yàn)。
技術(shù)參數(shù)：
1200單溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng) 真 空 管 式 爐 產(chǎn)品型號(hào) CY-O1200-50IT 爐管材質(zhì) 高純石英 爐管直徑 50mm（可選配60mm、80mm、100mm） 爐管長(zhǎng)度 800mm 爐膛長(zhǎng)度 440mm 加熱區(qū)長(zhǎng) 400mm 恒溫區(qū)長(zhǎng) 200mm 工作溫度 0～1100℃ 控溫精度 ±1℃ 控溫模式 30段或50段程序控溫 顯示模式 LCD 密封方式 304不銹鋼真空法蘭 法蘭接口 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 可抽真空 4.4E-3Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 供 氣 系 統(tǒng) 產(chǎn)品型號(hào) CY-3F 氣體通道 3通道 測(cè)量部件 氣體浮子流量計(jì) 測(cè)量量程 A通道：0～100ml/min H2氣 備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時(shí)需要特別注明?？筛鶕?jù)客戶的具體要求來選配對(duì)應(yīng)的氣體種類和量程的流量計(jì)。 B通道：16～160ml/min N2氣 C通道：25～250ml/min Ar氣 測(cè)量精度 ±2.0% 管道耐壓 3MPa 工作壓差 50～300KPa 連接管道 304不銹鋼 控制閥門 304不銹鋼針閥 接口規(guī)格 進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 排 氣 系 統(tǒng) 產(chǎn)品型號(hào) CY-GZK103-A 分子泵 CY-600 前極泵 旋片泵 抽氣速率 分子泵：600L/S 綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達(dá)：1.0E-3Pa 旋片泵：1.1L/S 抽氣接口 KF40 排氣接口 KF16 真空測(cè)量 復(fù)合真空計(jì)：電阻規(guī)+電離規(guī) 極限真空 1.0E-5Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz
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