1200單溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)

真

空

管

式

爐

產(chǎn)品型號(hào)

CY-O1200-50IT

爐管材質(zhì)

高純石英

爐管直徑

50mm（可選配60mm、80mm、100mm）

爐管長(zhǎng)度

800mm

爐膛長(zhǎng)度

440mm

加熱區(qū)長(zhǎng)

400mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)

200mm

工作溫度

0～1100℃

控溫精度

±1℃

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

LCD

密封方式

304不銹鋼真空法蘭

法蘭接口

1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭

可抽真空

4.4E-3Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

供

氣

系

統(tǒng)

產(chǎn)品型號(hào)

CY-3F

氣體通道

3通道

測(cè)量部件

氣體浮子流量計(jì)

測(cè)量量程

A通道：0～100ml/min    H2氣

備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時(shí)需要特別注明。可根據(jù)客戶的具體要求來選配對(duì)應(yīng)的氣體種類和量程的流量計(jì)。

B通道：16～160ml/min    N2氣

C通道：25～250ml/min    Ar氣

測(cè)量精度

±2.0%

管道耐壓

3MPa

工作壓差

50～300KPa

連接管道

304不銹鋼

控制閥門

304不銹鋼針閥

接口規(guī)格

進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭

排

氣

系

統(tǒng)

機(jī)械泵

旋片泵

抽氣速率

1.1L/S

排氣接口

KF16

真空測(cè)量

電阻規(guī)

極限真空

1.0E-1Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

抽氣接口

KF16