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1200℃三溫區(qū)旋轉(zhuǎn)自動(dòng)進(jìn)出料CVD系統(tǒng)安裝有投料器和收料罐。1200℃三溫區(qū)旋轉(zhuǎn)自動(dòng)進(jìn)出料CVD系統(tǒng)投料器可以以額定速率將粉料送入爐管，可實(shí)現(xiàn)在氣氛保護(hù)的環(huán)境下連續(xù)對粉末材料用CVD方法進(jìn)行包裹和修飾。收料罐可以在氣氛保護(hù)環(huán)境下對處理好的料粉進(jìn)行收集。
1200℃三溫區(qū)旋轉(zhuǎn)自動(dòng)進(jìn)出料CVD系統(tǒng)廣泛用于燒結(jié)無機(jī)化合物，通過機(jī)械傳動(dòng)控制工作管能360°不間斷旋轉(zhuǎn)，使得管內(nèi)物料攪拌混合獲得均勻受熱效果。
此款管式爐設(shè)計(jì)主要是在鋰離子電池的陰極材料（如LiFePO3, LiMnNiO3）上包覆導(dǎo)電層，同時(shí)也可用CVD方式制備 Si/C 陽極材料。
1200℃三溫區(qū)旋轉(zhuǎn)自動(dòng)進(jìn)出料CVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：
真 空 管 式 爐 Max功率 4.5kw 爐管材質(zhì) 外管不銹鋼，內(nèi)管石英 爐管直徑 兩端60mm，中間100mm 爐管長度 1640mm 爐膛長度 1060mm 加熱區(qū)長 200mm+200mm+200mm 恒溫區(qū)長 200mm 工作溫度 0～1100℃ 控溫精度 ±1℃ 控溫模式 30段或50段程序控溫 顯示模式 LCD 密封方式 304不銹鋼真空法蘭 法蘭接口 1/4英寸卡套接頭，KF16/25/40接頭 可抽真空 4.4E-3Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 傾斜角度 0~15° 轉(zhuǎn)速 0~20轉(zhuǎn) 供 氣 系 統(tǒng) 產(chǎn)品型號 CY-3F 氣體通道 3通道 測量部件 氣體浮子流量計(jì) 測量量程 A通道：0～100ml/min H2氣 備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時(shí)需要特別注明。可根據(jù)客戶的具體要求來選配對應(yīng)的氣體種類和量程的流量計(jì)。 B通道：16～160ml/min N2氣 C通道：25～250ml/min Ar氣 測量精度 ±2.0% 管道耐壓 3MPa 工作壓差 50～300KPa 連接管道 304不銹鋼 控制閥門 304不銹鋼針閥 接口規(guī)格 進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 排 氣 系 統(tǒng) 機(jī)械泵 旋片泵 抽氣速率 1.1L/S 排氣接口 KF16 真空測量 電阻規(guī) 極限真空 1.0E-1Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 抽氣接口 KF16
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