輸入功率

?     AC 220V , 50/60 Hz,

?    射頻功率：80 W Max.（標準） 

?    真空泵：正常550W,啟動750W

?    總功率：830W max.

?    工作電流≤3A

射頻功率

?    射頻功率可在0-80W范圍內(nèi)調(diào)節(jié)

?    射頻：13,56 MH

?    可選：可根據(jù)要求提供300 W射頻電源，需額外收費

等離子室

?  8.5" O.D×8.2" I.D×14" L高純度石英室

? 體積: 12 L

? 鉸鏈式前法蘭由鋁制成

?  2.3"直徑（60mm）石英窗口，便于觀察

? *屏蔽RF輻射，零RF泄漏

控制面板

?  6"彩色觸摸屏，可自動控制所有參數(shù)，用于等離子清潔，如真空度，氣體流速，RF功率水平和清潔時間。

? 內(nèi)置一個通道質(zhì)量流量計（0-500ml /分鐘），控制氣體流量+/- 0.5 ml / m

真空泵和閥門

? 包含排氣過濾器，KF25D適配器和夾具的240 L / m重型旋片式真空泵可立即使用

? *終總壓力為50 mTorr

惰性氣體

? 可以選擇許多惰性氣體進行等離子體清潔，如N2，Ar，空氣和混合氣體，取決于將要處理的材料類型。（不包括在包裝內(nèi)）

? 等離子清潔器不得使用

總體尺寸

620 L×600 W×600 H, mm

保證

一年有限保修，終身支持(耐熱玻璃室無保修)