射頻功率

射頻功率（線圈上施加的高壓和高頻電流）可在三個(gè)級(jí)別調(diào)節(jié)：

等離子室

?3"直徑×6.5"長(zhǎng)的石英室

?700 mL容量

?高純度石英室比玻璃具有更長(zhǎng)的使用壽命

真空計(jì)和顯示器

?Stinger壓力表安裝在鉸鏈門上。

?1/8"NPT針閥，可定性控制氣體流量和腔室壓力。

?1/8"NPT三通閥，可快速切換出氣體，隔離腔室和排氣。

真空泵

包括一個(gè)雙級(jí)旋片式真空泵

輸入功率

AC 208 - 240V, 50/60Hz,單相

工作氣體

?可以選擇許多惰性氣體進(jìn)行等離子體清潔，例如N2，Ar，空氣和混合氣體取決于將要處理的材料類型。

?可以使用<5％H2混合惰性氣體

?等離子清潔器不得使用。

整體尺寸

凈重

40磅

保證

一年有限保修，終身支持(耐熱玻璃室無保修)