功能

三路質(zhì)量流量計(jì)

質(zhì)子流量控制器

工作溫度：5~45 oC
*大壓力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用

輸入電源

AC 220V/50Hz單相

功率

150W

機(jī)械壓力表

有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接

量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

針閥

316 不銹鋼

通氣管道

內(nèi)部連接管道為1/4"不銹鋼管 

外部通氣管道為1/4"聚四氟管 

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥及配件

316不銹鋼針閥 

Φ1/4" 不銹鋼管

外形尺寸

600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終身維護(hù)