本CVD系統(tǒng)帶水冷法蘭雙路流量計(jì)并配有雙極旋片泵、水冷機(jī)、數(shù)字真空計(jì)且該CVD系統(tǒng)可抽真空、通氣氛用于各種CVD實(shí)驗(yàn)。

主要技術(shù)參數(shù)：

1、真空管式爐

工作電壓：AC220/AC110V   

工作頻率：50Hz/60hz

工作溫度：25℃～1100℃

測(cè)量精度：0.1℃

控溫精度：±1℃

加熱速率：建議10℃/min

控溫模式：可編程智能PID

曲線段數(shù)：30段

預(yù)存曲線：100條

爐膛長(zhǎng)度：440mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)：200mm

數(shù)據(jù)接口：USB

2、混氣系統(tǒng)

測(cè)量設(shè)備：質(zhì)量流量控制器

測(cè)量量程：500SCCM

氣體通道：兩通道

連接管道：304不銹鋼管

接口模式：6.35卡套接頭

氣體緩沖：不銹鋼緩沖