該區(qū)域提純爐主要由：高溫梯度爐、真空爐管、真空法蘭、電子真空計(jì)、質(zhì)量流量計(jì)、分子泵組、直線導(dǎo)軌、速度控制器等重要部件構(gòu)成。廣泛用于半導(dǎo)體鍺、硅提純還可以用于金屬、金屬間化合物提純。

主要技術(shù)參數(shù)：

工作溫度：1200℃

爐管長(zhǎng)度：1200mm

爐管直徑：50mmm

爐管厚度：5mm

密封方式：不銹鋼真空法蘭

真空度：1.0X10E-3Pa

流量計(jì)類型：質(zhì)量流量計(jì)

氣體流量：100SCCM、200SCCM、500SCCM

載料舟長(zhǎng)度：200mm

移動(dòng)速度：160mm/60min（可根據(jù)實(shí)際要求調(diào)節(jié)）

溫度控制：50段可編程控制

控制系統(tǒng)：全電腦程序控制