plasma處理系統(tǒng)SAT-5D

技術(shù)特點：

1.艙體、管路、閥體全部為不銹鋼材料，耐用、防腐容易清潔。

2.儀器實現(xiàn)了手動，自動兩種模式任意切換的工作方式，方便用戶實驗

3.儀器實現(xiàn)了程序化設(shè)計，預(yù)先編輯好程序，儀器可以自動完成實驗

4.無需任何耗材使用成本低，無需特殊進行維護,日常使用保持儀器清潔即可

5.電容式等離子激發(fā)，處理效果均勻，激發(fā)電極板內(nèi)置樣品倉內(nèi)頂部懸掛

6.密閉真空環(huán)境下完成實驗避免二次污染

7.13.56Mhz射頻電源,掃頻自動匹配，穩(wěn)定可靠，具有自動保護功能。

8.靈活的參數(shù)設(shè)置和修改功能，可適應(yīng)多種處理工藝。

9.采用皮拉尼真空技術(shù)，實時檢測和顯示樣品倉的真實真空度，具有1Pa的真空分辨率，能夠方便的接入MFC氣體流量控制儀，實現(xiàn)對氣體流量和真空度的控制和監(jiān)測。

10. 液晶屏+薄膜數(shù)字按鍵控制方式，操作直觀簡單穩(wěn)定可靠。

plasma處理系統(tǒng)SAT-5D

技術(shù)規(guī)格參數(shù)