紫外臭氧清洗機（UVO）

工作條件

工作環(huán)境溫度：5-35℃； 2.2.工作環(huán)境濕度：≤70%；

電源：220/240V、50/60HZ。

紫外臭氧清洗機的應(yīng)用案例包括:

表面清潔、薄膜沉積、紫外光刻、表面殺菌、AFM/STM探針清潔、UV化學(xué)反應(yīng)、光學(xué)部件的清潔、改善樣品表面親水性、去除表面單分子層、表面氧化、表面刻蝕/縮微成像等

適用樣品類型:石英、硅、二氧化硅、氮化硅、金、鎳鋁、

砷化鎵、氧化鋁、玻璃、不銹鋼等

儀器基本配置：主機+電源線+說明書

紫外臭氧清洗機（UVO）

技術(shù)參數(shù)

6.