青海超純水制取設(shè)備

青海超純水制取設(shè)備工藝技術(shù)為EDI，也就是整個(gè)設(shè)備的核心。設(shè)備原水為市政自來(lái)水經(jīng)過電動(dòng)閥到達(dá)多介質(zhì)過濾器，再到達(dá)活性過濾器、軟水器、保安過濾器，可以去除原水中的懸浮物、細(xì)菌、膠體等。原水到達(dá)RO和EDI結(jié)合的主機(jī)，到達(dá)精度高的微孔過濾器然后可以出純水。

二、超純水設(shè)備水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)

超純水設(shè)備出水水質(zhì)*符合美國(guó)ASTM純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、我國(guó)電子工業(yè)部電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)（18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級(jí)標(biāo)準(zhǔn)）、我國(guó)電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)、美國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo)、日本集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、國(guó)內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。

三、超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程

集成電路超純水設(shè)備系統(tǒng)采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理四大步驟，多級(jí)過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達(dá)18.25MΩ*cm

1、采用離子交換方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽(yáng)樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽(yáng)樹脂混床→微孔過濾器→用水點(diǎn)

2、采用兩級(jí)反滲透方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級(jí)反滲透 →PH調(diào)節(jié)→中間水箱→第二級(jí)反滲透（反滲透膜表面帶正電荷）→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點(diǎn)

3、采用EDI方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級(jí)反滲透機(jī)→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點(diǎn)

四、超純水設(shè)備工藝簡(jiǎn)述

超純水中有機(jī)物含量由測(cè)定有機(jī)物碳含量而定，電子工業(yè)超純水中規(guī)定含量為50～200微克/升,并要求直徑大于1微米的顆粒性物質(zhì)每1毫升內(nèi)含量為1～2個(gè)，微生物每1毫升為0～10個(gè)?，F(xiàn)代采用預(yù)處理、電滲析、紫外線殺菌、反滲透、離子交換、超濾和各種膜過濾技術(shù)等，使超純水的電阻率在25℃時(shí)達(dá)到18(兆歐·厘米).

依各種原水水質(zhì)和用戶要求的不同，超純水制備工藝大體可分為預(yù)處理、脫鹽和精處理三步。 　　

1.預(yù)處理

包括砂濾、多介質(zhì)過濾、軟化、加氯、調(diào)節(jié)pH、活性碳過濾、脫氣等。過濾可除去 1～20微米大小的顆粒，軟化和調(diào)節(jié)pH可防止反滲透膜結(jié)垢，加氯是殺菌?；钚蕴歼^濾是除去有機(jī)物和自由氯，脫氣是清除溶于水中的CO2等。 　

2.脫鹽

包括電滲析、反滲透、離子交換。電滲析的原理是在外加直流電場(chǎng)作用下利用陽(yáng)離子和陰離子交換膜對(duì)離子選擇性透過，脫鹽率可達(dá)95%以上。反滲透是滲透現(xiàn)象的逆過程,在濃溶液上加壓力,使溶劑從濃溶液一側(cè)通過半透膜向稀溶液一側(cè)反向滲透，脫鹽可達(dá)98%，并能除去99%的細(xì)菌顆粒和溶解在水中的有機(jī)物。離子交換的原理是當(dāng)水通過陽(yáng)離子交換樹脂時(shí)，水中的陽(yáng)離子被陽(yáng)離子交換樹脂吸附，樹脂上可交換的陽(yáng)離子如H離子被置換到水中，并和水中的陰離子結(jié)合成相應(yīng)的無(wú)機(jī)酸，如  超純水

這種含有無(wú)機(jī)酸的水，當(dāng)下一步通過陰離子交換樹脂層時(shí)，水中的陰離子被陰離子交換樹脂吸附。樹脂上可交換的陰離子如OH離子被置換到水中,并與水中的H離子結(jié)合成水，即 超純水

3.精處理

包括紫外線殺菌、終端膜過濾和超濾。紫外線殺菌是因生物體的核酸吸收紫外線光的能量而改變核酸自身結(jié)構(gòu),破壞核酸功能而使細(xì)菌死亡。殺菌強(qiáng)的光譜波長(zhǎng)為2600埃。各種膜過濾能除掉直徑大于0.2微米的顆粒，但對(duì)于清除有機(jī)物則不如反滲透和超濾有效。超濾是把各種選擇性的分子分離。在超濾過程中，水在壓力下流過一個(gè)卷式或中空纖維膜棒。膜孔徑在10～200埃范圍內(nèi),薄膜厚度為0.1～0.5微

超純水設(shè)備優(yōu)點(diǎn)

　　集成電路超純水設(shè)備可以連續(xù)不間斷制水，出水水質(zhì)的穩(wěn)定性和連續(xù)性強(qiáng)。設(shè)備采用的當(dāng)今的EDI技術(shù)，已經(jīng)逐步取代了傳統(tǒng)的離子交換工藝。設(shè)備不需要化學(xué)再生停機(jī)，占地面積非常小操作方便。

　　我國(guó)對(duì)于生產(chǎn)中的潔能要求越來(lái)高，這些同樣也是對(duì)電子工業(yè)生產(chǎn)的要求，集成電路超純水設(shè)備就是如此。設(shè)備全自動(dòng)運(yùn)行無(wú)需專人看護(hù)，運(yùn)行費(fèi)用及維修成本低，運(yùn)行過程中無(wú)需化學(xué)藥劑再生。設(shè)備產(chǎn)水水質(zhì)符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，以及美國(guó)ASTM純水等標(biāo)準(zhǔn)。我們廠家主要生產(chǎn)專業(yè)的超純水設(shè)備，我們會(huì)用好的技術(shù)生產(chǎn)各種超純水設(shè)備。不僅生產(chǎn)集成電路超純水設(shè)備，還生產(chǎn)精細(xì)化工超純水設(shè)備，制藥用超純水設(shè)備等等，種類多樣，質(zhì)量可靠。

五、超純水設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域

1.半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路

2.電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗　　

3.電子管生產(chǎn)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液　　

4.顯像管和陰極射線管生產(chǎn)、配料用純水　　

5. 黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)、玻殼清洗、沉淀、濕潤(rùn)、洗膜、管頸清洗用純水　　

6.液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面需用純水清洗和用純水配液　　

7.晶體管生產(chǎn)中主要用于清洗硅片，另有少量用于藥液配制　　

8.集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片　　

9.LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏　　

10.高品質(zhì)顯像管、螢光粉生產(chǎn)　　

11.半導(dǎo)體材料、晶元材料生產(chǎn)、加工、清洗　　

12.超純材料和超純化學(xué)試劑、超純化工材料　　

13.汽車、家電表面拋光處理　　

14.光電產(chǎn)品、其他高科技精微產(chǎn)品