小型等離子體清洗設備，傳統(tǒng)等離子體清洗設備設計理念，采用頂置真空倉，上開蓋下壓式鉸鏈開關方式，上置式360度自由取放樣品托盤設計，具有較大的腔體尺寸和樣品處理面積，使用成本低，性價比高，處理快速高效，特別適合于大學，科研院所和光電企業(yè)實驗室使用。

產(chǎn)品特點：

u 數(shù)字流量計控制，控制更準確。

u 電容式等離子激發(fā)方式。

u 符合人體功能學的60度傾角操作界面設計，操作方便，界面友好。

u 頂置真空倉，上開蓋設計，下壓式鉸鏈開關方式。

u 上置式360度自由水平取放樣品托盤設計，符合人體功能學，操作更方便。