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PENNINGVAC 變送器真空計(jì) PTR 90 N

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安博元科技無(wú)錫有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

說(shuō)明nbsp;nbsp;PTR 90 N PENNINGVAC 系列真空變送器可提供從nbsp;1×10-8nbsp;毫巴到nbsp;1000 毫巴的較大測(cè)量范圍，基于對(duì)nbsp;MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性和冷陰極nbsp;(CC) 電離電流的測(cè)量結(jié)果。nbsp;nbsp;nbsp;配備nbsp;RS232 數(shù)字通信接口nbsp;(P/N: 230088V02) 或n......

詳細(xì)介紹

說(shuō)明

PTR 90 N PENNINGVAC 系列真空變送器可提供從 1×10-8 毫巴到 1000 毫巴的較大測(cè)量范圍，基于對(duì) MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性和冷陰極 (CC) 電離電流的測(cè)量結(jié)果。

配備 RS232 數(shù)字通信接口 (P/N: 230088V02) 或 EtherCAT 數(shù)字通信接口 (P/N: 230089V02) 的變送器版本可設(shè)置變送器參數(shù)，并可提供實(shí)時(shí)壓力測(cè)量結(jié)果。更多詳情，請(qǐng)參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配備集成式觸屏顯示器 (P/N: 2300085V02) 的變送器版本能夠監(jiān)控基本的變送器參數(shù)。更多詳情，請(qǐng)參閱第 6.4 章。

每臺(tái)變送器在出廠前已逐臺(tái)進(jìn)行全量程測(cè)試。測(cè)試報(bào)告隨附在包裝中。此外，每個(gè)變送器壓力讀數(shù)均在操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補(bǔ)償。

這些變送器用途廣泛，可用作獨(dú)立裝置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。所有 PENNINGVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。

變送器擁有多達(dá)三個(gè)機(jī)械繼電器，這些繼電器可用于過(guò)程控制，例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備，獲取壓力讀數(shù)，或進(jìn)行壓力控制。

傳感器技術(shù)

變送器含有兩個(gè)獨(dú)立的傳感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機(jī)械系統(tǒng))) 傳感器元件基于熱傳導(dǎo)性的測(cè)量結(jié)果。MEMS Pirani 傳感器包含一個(gè)帶有熱電阻元件的硅芯片，其構(gòu)成空腔的一個(gè)表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀，空腔內(nèi)無(wú)法進(jìn)行對(duì)流，因此，傳感器對(duì)安裝位置并不敏感。通過(guò)擴(kuò)散，氣體分子只到達(dá)熱元件，在此處可測(cè)量氣體的熱損耗。

冷陰極反磁控管采用高電壓陽(yáng)極、陰極和永磁體。電子向陽(yáng)極加速，并將通過(guò)碰撞而使分子離子化。磁場(chǎng)使電子偏轉(zhuǎn)，從而使電子在穿過(guò)磁場(chǎng)前往陽(yáng)極時(shí)做螺旋形移動(dòng)。這種螺旋運(yùn)動(dòng)增大了電子遇到分子并使分子離子化的機(jī)會(huì)。

分子離子化產(chǎn)生電流，該電流是壓力的函數(shù)。這兩個(gè)傳感器元件均極為堅(jiān)固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。

更多信息請(qǐng)聯(lián)系萊寶：安博元科技 info

應(yīng)用

變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中，如：工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:

· 一般真空壓力測(cè)量

· 氣體回填測(cè)量和控制

· 涂料

· 質(zhì)譜儀控制

· 系統(tǒng)過(guò)程控制

· 檢測(cè)異常壓力，利用設(shè)定點(diǎn)繼電器采取妥當(dāng)?shù)陌踩胧?/span>

· 控制系統(tǒng)壓力

測(cè)量原理:		依據(jù) MEMS Pirani 傳感器的熱傳導(dǎo)性
		冷陰極離子化電流

測(cè)量范圍 (N2 和空氣):	1×10-8 至 1000 毫巴

精確度 (1) (N2):	1×10-8 至 1x10-3 毫巴 (CC):		誤差是讀數(shù)的 ±30%
	1×10-4 至 1x10-3 毫巴 (MP):		誤差是讀數(shù)的 ±10%
	1×10-3 至 100 毫巴 (MP):		誤差是讀數(shù)的 ±5%
	100 至 1000 毫巴 (MP):		誤差是讀數(shù)的 ±25%
重復(fù)性 (1) (N2):	1×10-3 至 100 毫巴:		誤差是讀數(shù)的 ±2%

電源電壓:	9-30 伏直流
功耗:	< 2 瓦
熔絲 (熱可恢復(fù)):	200 毫安
模擬輸出 (100 歐阻抗):	2-8.6 伏直流，Log. 0.6 伏直流/十進(jìn)制
模擬輸出分辨率:	16 位
模擬輸出更新率:	16 赫茲
傳感器故障模擬輸出 (Pirani):	10 伏直流

材料暴露于真空 (2):		304 號(hào)不銹鋼、密封材料 FPM

機(jī)械設(shè)定點(diǎn)繼電器:
P/N: 230070V02、230071V02、230072V02、230085V02:	0
P/N: 230088V02:	3
設(shè)定點(diǎn)繼電器范圍:	1×10-8 至 1000 毫巴
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)額定值:	1 安/30 伏直流/交流 (電阻性負(fù)載)
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)電阻:	100 毫歐 (值)
設(shè)定點(diǎn)繼電器響應(yīng)時(shí)間:	<100 毫秒
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性:	100000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/1 安負(fù)載)
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性:	2000000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/0.2 安負(fù)載)

軟件設(shè)定點(diǎn)繼電器:
P/N: 230089V02:	2
設(shè)定點(diǎn)繼電器響應(yīng)時(shí)間:	< 20 毫秒

內(nèi)部容積:	KF25		28.6 厘米3
KF40	21.7 厘米3
CF46	32.7 厘米3

外殼材質(zhì):	304 號(hào)不銹鋼

重量:
P/N: 230070V02、230088V02:	321 克
P/N: 230089V02:	600 克
P/N: 230085V02:	550 克
P/N: 230071V02:	358 克
P/N: 230072V02:	576 克

允許壓力:	6 巴
運(yùn)行溫度:	0 至 40 °C (32 至 104 °F)
烘烤溫度 (電源關(guān)閉):	85 °C (185 °F)
燈絲溫度:	超過(guò)室溫 35 °C
異物防護(hù)等級(jí):	IP40
泄漏速率:	< 5?0-9 毫巴?升/秒

零件	產(chǎn)品號(hào)
PTR 90 N，DN25 KF	230070V02
PTR 90 N，DN25 KF；Display	230085V02
PTR 90 N，DN40 KF	230071V02
PTR 90 N，DN40 CF	230072V02
PTR 90 N，DN25 KF，RS232，3SP	230088V02
PTR 90 N，DN25 KF，EtherCAT	230089V02
陰極替換片 PTR 90 N / PTR225 N*	EK16291V02
陽(yáng)極替換環(huán) PTR 90 N / PTR 225 N**	V02

Display 1	230001
Display 2	230024
Display 3	230025

Graphix 1	230680V01
Graphix 2	230681V01
Graphix 3	230682V01

A 型電纜，5 米	12426
A 型電纜，10 米	230012
A 型電纜，15 米	12427
A 型電纜，20 米	12428
A 型電纜，30 米	12429
A 型電纜，50 米	12431
A 型電纜，75 米	12432
A 型電纜，100 米	12433

螺旋管 DN 25 ISO-KF	230083
螺旋管 DN 40 ISO-KF	230084

定心環(huán) (1.4305 號(hào)不銹鋼)，含 O 型環(huán)	88374
定心環(huán) (不銹鋼)，含燒結(jié)金屬過(guò)濾器	88352
卡環(huán) (鋁)	210043
隔板，含定心環(huán) (FPM)	230078