儀器介紹
概述：
表面潔凈度測(cè)試儀采接觸式，量測(cè)物體表面的粒子數(shù)量的設(shè)備。半導(dǎo)體，面板廠，設(shè)備商與所有清潔部件廠商，驗(yàn)證部件表面是否干凈的檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)工具，人的肉眼很難看清直徑在100微米以下的粒子，這些粒子會(huì)快速沉降，逃避常規(guī)的空氣檢測(cè)從而聚集在關(guān)鍵表面或產(chǎn)品上，從而減少產(chǎn)品的良率及降低產(chǎn)品的穩(wěn)定性。

表面潔凈度測(cè)試儀

一、儀器介紹

概述：

表面潔凈度測(cè)試儀采接觸式，量測(cè)物體表面的粒子數(shù)量的設(shè)備。半導(dǎo)體，面板廠，設(shè)備商與所有清潔部件廠商，驗(yàn)證部件表面是否干凈的檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)工具，人的肉眼很難看清直徑在100微米以下的粒子，這些粒子會(huì)快速沉降，逃避常規(guī)的空氣檢測(cè)從而聚集在關(guān)鍵表面或產(chǎn)品上，從而減少產(chǎn)品的良率及降低產(chǎn)品的穩(wěn)定性。

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：

ISO14644-9:2022《潔凈室和相關(guān)的受控環(huán)境第 9 部分:顆粒濃度表面清潔度的評(píng)估》  

二、儀器參數(shù)

技術(shù)參數(shù)：

控制系統(tǒng)：PLC

操作界面：7寸觸摸屏

流量:28.3L/min+5% 內(nèi)置流量傳感器，流量自動(dòng)閉環(huán)控制

光源: 進(jìn)口激光二極管

測(cè)試粒徑:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0um（可根據(jù)客戶(hù)需求定制，最多八個(gè)通道）

最大飽和濃度:2000000/ft3（5%）

自?xún)魰r(shí)間:≤10min

測(cè)量次數(shù):0-99次周期:0-99999秒測(cè)量間:0-9999秒時(shí)時(shí)間:0-9999秒

潔凈度等級(jí):1~9級(jí)

采樣頭規(guī)格:φ36.5

數(shù)據(jù)單位:m3、ft3

SCP等級(jí):1級(jí)-8級(jí)

表面類(lèi)型:圓形、方形

表面探頭:φ12.7 mm、φ20 mm、φ30 mm、φ50 mm、φ70 mm

數(shù)據(jù)單位:m2、ft2、in2、cm2、mm2

根據(jù)探頭的形狀（如:圓形輸入直徑、方形輸入長(zhǎng)寬尺寸），自動(dòng)計(jì)算出表面積。

打印功能:熱敏打印機(jī)

數(shù)據(jù)儲(chǔ)存:可儲(chǔ)存100000組數(shù)據(jù)

重量:15kg

外形尺寸:300*400*450mm

電源：AC220V 50Hz  150W （可選帶鋰電池組）

基本配置

主機(jī) 一臺(tái)

說(shuō)明書(shū) 1份

合格證1份

簽收單1份

電源線(xiàn)1份

扳手1套

保修卡 一個(gè)

銘牌 一個(gè)