精密濕度發(fā)生器

一、功能描述

本系列產(chǎn)品發(fā)生較小流量，溫濕度適中、連續(xù)可調(diào)的含濕氣體。

工作流量：0-5L/min (標(biāo)態(tài))

工作壓力：常壓；

工作溫度：常溫-80℃；

濕度范圍：5-95%。

二、方案原理

本方案采用分流法發(fā)生濕度，即采用濕氣和干氣混合，得到所需濕度的工作氣體。

（1）濕氣中水的飽和蒸汽壓為 P w

（2）干氣、濕氣與混合氣的總壓均為 P aw

（3）干氣和濕氣的流量比為 χ wd

（4）干氣、濕氣以及混合氣溫度相同

則混合后氣體的相對(duì)濕度

總氣流然后通過(guò)分流調(diào)節(jié)閥一分為二：一路經(jīng)過(guò)濕度飽和器，產(chǎn)生高濕度氣體；另外一路經(jīng)過(guò)干燥器，產(chǎn)生干燥氣體。注意，此處濕度飽和器和干燥器的效果決定了發(fā)生器調(diào)節(jié)濕度的范圍。

干氣流和濕氣流，后經(jīng)過(guò)混合后，產(chǎn)生所需要的含濕氣體。