用途

精確度:± 1%FS

響應(yīng)時(shí)間:1～2seconds

重復(fù)性:< ±0.2% Rd

量程比:1:50(數(shù)字模式為:1:187.5)

泄漏率: tested < 2 x 10-9 mbar L/s He

電源:+15～24VDC@320mA

使用溫度:-10～70 ℃

輸出:4～20mA and RS-232

氣路

整個(gè)系統(tǒng)氣路均采用防腐防吸附的316L不銹鋼管或者聚四氟乙烯管,內(nèi)表面光滑

3.計(jì)算機(jī)及系統(tǒng)軟件

1)配氣系統(tǒng)通過觸摸屏或者計(jì)算機(jī)操作,計(jì)算機(jī)需要另選配氣軟件。

2)四組份配氣軟件

配氣系統(tǒng)根據(jù)要求,可以設(shè)置鋼瓶和對應(yīng)的端口。并可以通過流量模式和濃度模式配氣。通過軟件自動計(jì)算,氣體質(zhì)量流量控制器自動調(diào)節(jié)控制氣體流量,以實(shí)現(xiàn)氣體配比濃度要求。