20nm (30kV, BSE Image)

放大倍率

30~60,000 X

加速電壓

5kV to 30kV (5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5step)

圖像檢測

二次電子圖像-(SE)-Secondary Electron Image

背散射電子圖像(BSE)-Backscattered Electron Image

* Multi Detector (SE+BSE)

觀察模式

Standard Mode

Charge-up reduction mode

電子槍系統(tǒng)

燈絲類型

預(yù)對中鎢燈絲

偏壓系統(tǒng)

自動(dòng)偏壓方式

電子槍校正

手動(dòng)方式

透鏡構(gòu)成

聚光鏡

2段式磁線圈透鏡

物鏡

1段式磁線圈透鏡

探測器類型

SE Detector/ BSE Detector

載物臺(tái)系統(tǒng)

 自動(dòng)或者手動(dòng)

載物臺(tái)移動(dòng)

3軸（X，Y，R）或5軸（X，Y，R，Z，T）

圖像偏移

Image shift X, Y Image Shift (±150μm)

樣品尺寸

高度40mm時(shí)直徑70mm

圖像掃描

快速掃描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速掃描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)

圖片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)

圖片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

圖片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)

自動(dòng)功能

自動(dòng)啟動(dòng)，自動(dòng)聚焦，自動(dòng)亮度對比度調(diào)節(jié)

圖像存儲(chǔ)格式

BMP, JPEG, PNG,TIFF

數(shù)據(jù)顯示

放大倍率，探測器類型，電壓，真空模式，Logo(Text)，Date and time，Text marker，比例尺等

真空系統(tǒng)

 高真空模式

（旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵）Rotary Pump/100Liters/min

（渦輪式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec

 抽真空時(shí)間：3分鐘以內(nèi)

操控系統(tǒng)

 鼠標(biāo)和鍵盤

PC：臺(tái)式電腦（Desk Top）      

軟件

 圖像文件打開，編輯，存儲(chǔ)功能長度，面積，角度等測量功能,設(shè)置數(shù)初始化，圖像拍攝模式轉(zhuǎn)換，Archives, Setting(EDS)模式等

體積

設(shè)備主機(jī)-410(W)×660(D)×600(H)mm
外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm 

重量

 95kg

設(shè)備環(huán)境 

 溫度：15℃~30℃
   濕度：70% or less

  電源：Single phase 100~240V AC, 1kW, 50/60Hz