X軸

測量范圍

50mm（CV-1000）或100mm（）CV-2000

分辨率

0.2μm

測量方法

反射型光柵尺

驅(qū)動速度

0.2mm/s1mm/a和手動

測量速度

0.02-5mm/s

測量方向

/向后

直線度

3.5μm /50mm

1.5μm/mm（當(dāng)X軸在水平方向上

指示精度

（20℃）

±（3.5+2L/100）μm

L為驅(qū)動長度（mm）

傾斜范圍

±45°（CV-2000）

Z1軸

測量范圍

25mm（CV-100）或40mm（CV-2000）

分辨率

0.4μm（CV-1000系列）

0.5μm（CV-2000系列）

測量方法

弧形編碼器

指示精度

（20℃）

±（3.5+14H/25）μm）

H為水平位置上的測量高度（mm）

探針上下運作

弧形運動

探針方向

向下

測力

10-30mN

跟蹤角度

向上

77°

向下

87°

探針針尖

半徑

25μm

材料

硬質(zhì)合金針尖

基座尺寸（WxH）

750x600mm（CV-2000）

基座材料

花崗巖（CV-2000）

重量

主機

5kg（CV-10000N2）、115.8kg（CV-2000M4）、124kg（CV-2000S4）

控制裝置

14kg  

遙控箱

0.9kg

電源

100-240VAC±10% 50/60Hz

能耗

150W主機

型號

CV-1000N2

CV-2000N4

CV-2000S4

X1軸測量范圍

50mm

100mm

100mm

Z1軸測量范圍

25mm

40mm

40mm

Z2軸測量范圍

-

250mm

320mm