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南通華林科納半導體設備有限公司
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更新時間:2025-02-13 09:19:54瀏覽次數(shù):504次
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Marangoni干燥 Marangoni馬蘭戈尼干燥是基于 Marangoni 效應發(fā)展起來的干燥技術
Marangoni 干燥 Marangoni 馬蘭戈尼干燥是基于 Marangoni 效應發(fā)展起來的干燥技術。典型的 Marangoni 干燥過程如圖 4 所示。晶片進入干燥系統(tǒng)后,在水槽內(nèi)溢流。由氮氣攜帶 IPA 氣體充滿系統(tǒng),在水面上形成 IPA 氣體環(huán)境。隨后晶片與水面緩慢脫離(可通過晶片提拉上升或緩慢排水兩種方式實現(xiàn)) 由于 IPA 的表面張力比水小得多(25 ℃下,IPA 表面張力為 20.9×10-3 N/m;水的表面張力為 72.8×10-3 N/m),所以會在坡狀水流表層形成表面張力梯度,產(chǎn)生 Marangoni 對流,水被“吸回"水面,如下圖所示 雖然同樣是 IPA 干燥,但是 Marangoni 干燥與 IPA Vapor 干燥有本質(zhì)的不同,前者是通過表面張力梯度將水拉回水面,后者則是靠水的蒸發(fā)。 相比于IPA Vapor 干燥 ,Marangoni 干燥IPA 用量很少,且能夠克服深窄溝渠的脫水困難,比較適合直徑 150 mm ( 6 英寸) 以上晶片的干燥。Marangoni 干燥存在的問題是晶片易出現(xiàn)水痕缺陷,晶片與晶舟接觸處、晶片下方是常見的水痕區(qū)域 。為消除水痕缺陷,這類設備中一般配備簡易晶舟,以減少晶片與晶舟的接觸面積,另外,采用溫水浴、超聲波震蕩 IPA Bub- bler 和變速提拉等也是常用的消除水痕缺陷的手段。 Marangoni 干燥(馬蘭戈尼干燥)受多種因素影響,如晶片的提拉速度,IPA/N2 流量和排風的設置等,因此此種方法技術難度較高。 作為濕制程設備制造商,南通華林科納半導體設備有限公司對干燥系統(tǒng)有豐富的生產(chǎn)經(jīng)驗和產(chǎn)線使用驗證,為硅片的清洗干燥提供有效的保障。 化學品相關濕法腐蝕相關設備(RCA清洗機、去膠機、外延片清洗機、酸堿腐蝕機、顯影機等)以及干燥設備(馬蘭戈尼干燥機Marangoni、單腔甩干機、雙腔甩干機),.
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商 鋪:南通華林科納半導體設備有限公司 http://www.jjhengye.com/st89445/
主營產(chǎn)品:配液機,IPA干燥機,化學品恒溫機,化學試劑分裝機,濕法清洗系統(tǒng)、刻蝕系統(tǒng)、CDS系統(tǒng)、尾氣處理系統(tǒng)
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