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南通華林科納半導體設備有限公司


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干燥系統(tǒng)-CSE

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產品型號

品       牌

廠商性質生產商

所  在  地南通市

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更新時間：2025-02-13 08:52:34瀏覽次數：556次

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產品簡介

干燥系統(tǒng)-華林科納適用于尺寸300mm晶圓的干燥技術優(yōu)點NID™干燥系統(tǒng)利用IPA和N2霧化分配

詳細介紹

干燥系統(tǒng)-華林科納

適用于尺寸300mm晶圓的干燥技術

優(yōu)點

NID™干燥系統(tǒng)利用IPA和N2霧化分配，以及晶圓與水脫離時形 成了表面張力干燥的技術 適用于尺寸300mm晶圓的干燥技術

> 可單臺設備或整合在濕法設備中

> 的占地

> 成熟的工藝

> 無水跡

> 無碎片

應用：

拋光片、集成電路、MEMES、LED、光伏、玻璃基片

一般特征：

> 可同時干燥25到50片直徑為300mm的晶圓

> 適用于標準高邊或低邊花籃

規(guī)格 ：

藝時間： 一般< 10="">

親水性晶圓片： ≤ 10 增加 @ 0.12 μm

疏水性晶圓片： ≤ 30 增加 @ 0.12 μm

金屬含量： 任何金屬≤ 1?1010 atoms / cm2 增加

干燥斑點： 干燥后無斑點

IPA 消耗量： ≤ 30 ml / run

去邊緣： 3 mm

一般安裝參數：

尺寸: 660 x 1440 x 2200 (長 x 寬 x 高)

標準電壓: 3 x 400 VAC

額定功率: 50 Hz

標準電流: 3 x 33 A

培訓 ：

操作、維護、工藝培訓

標準：

> CE

> Semi S2 and S8

> FM 4910

> SECS/GEM

可靠性：

> 平均故障間隔時間 ≥ 800 h

> 輔助平均間隔時間 ≥ 300 h

> 可運行時間 ≥ 97 %

干燥系統(tǒng)


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