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單片清洗機CSE

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更新時間：2025-02-13 08:41:13瀏覽次數(shù)：137次

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南通華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：66條

所在地區(qū)：江蘇南通市

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產(chǎn)品簡介

單片清洗機-華林科納Singlewafercleanersystem南通華林科納-自動單片式腐蝕清洗機應(yīng)用于清洗（包括光刻板清洗）刻蝕去膠金屬剝離等

詳細(xì)介紹

單片清洗機-華林科納

Single wafer cleaner system

南通華林科納-自動單片式腐蝕清洗機應(yīng)用于清洗（包括光刻板清洗）刻蝕去膠金屬剝離等；

可處理晶圓尺寸2'-12'；

可處理晶圓材料：硅砷化鎵磷化銦氮化鎵碳化硅鈮酸鋰鉭酸鋰等；

主要應(yīng)用領(lǐng)域：集成電路聲表面波器件微波毫米波器件 MEMS 封裝等

設(shè) 備名稱	-單片清洗機
類型	單片式
適用領(lǐng) 域	半導(dǎo)體、太陽能、液晶、MEMS等
清洗方式	2英寸——12英寸
設(shè)備穩(wěn)定性	1、≥0.2um顆粒少于10顆 2、金屬附著量:3E10 atoms/ cm2 3、純水消耗量：1L/min/片 4、蝕刻均一性良好（SiO?氧化膜被稀釋HF處理）：≤2% 5、干燥時間：≤20S 6、藥液回收率：＞95%	單片式優(yōu)點	1、單片處理時間短（相較于槽式清洗機） 2、節(jié)約成本（藥液循環(huán)利用，消耗量遠(yuǎn)低于槽式） 3、良品率高 4、有效避免邊緣再附著 5、立體層疊式結(jié)構(gòu)，占地面積小

單片（枚葉）式清洗相關(guān)設(shè)備可以關(guān)注南通華林科納半導(dǎo)體，關(guān)注，

關(guān)鍵詞：清洗機

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