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金屬剝離清洗機(jī)-CSE

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更新時(shí)間：2025-02-13 08:37:20瀏覽次數(shù)：144次

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南通華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：66條

所在地區(qū)：江蘇南通市

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

金屬剝離清洗機(jī)-南通華林科納微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS)是指用微機(jī)械加工技術(shù)制作的包括傳感器/微致動(dòng)器/微能源/等微機(jī)械基本部分以及高性能的電子集成線路組成的微機(jī)電器件與裝置

詳細(xì)介紹

金屬剝離清洗機(jī)-南通華林科納

微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS)是指用微機(jī)械加工技術(shù)制作的包括傳感器/微致動(dòng)器/微能源/等微機(jī)械基本部分以及高性能的電子集成線路組成的微機(jī)電器件與裝置。

其典型的生產(chǎn)工藝流程為：成膜工藝（氧化/CVD:LPCVD PECVD/PVD:濺射/電鍍/摻雜：擴(kuò)散注入退火）→光刻圖形（旋涂/光刻/顯影）→干法/濕法/ 刻蝕（濕法刻蝕/硅刻蝕/SiO?刻蝕/去膠清洗/金屬刻蝕/金屬剝離/RCA清洗）

設(shè)備名稱(chēng)	南通華林科納-金屬剝離清洗機(jī)
設(shè)備系列	-CX13系列
設(shè)備概況	尺寸(參考)：機(jī)臺(tái)尺寸 : 1750mmWx1400mmDx1900mmH（具體尺寸根據(jù)實(shí)際圖紙確定）清洗量：6寸25裝花籃2籃；重量：500Kg( 大約)；工作環(huán)境：室內(nèi)放置；
主體構(gòu)造特點(diǎn)	外殼：不銹鋼304 板組合焊接而成。安全門(mén)：無(wú)安全門(mén)，采用敞開(kāi)式設(shè)計(jì)；管路系統(tǒng)：藥液管路采用不銹鋼管，純水管路采用CL-PVC管；閥門(mén)：藥液管路閥門(mén)采用不銹鋼電磁閥門(mén)；排風(fēng)：后下抽風(fēng)，動(dòng)力抽風(fēng)法蘭位于機(jī)臺(tái)上部；水：配有水各2把，分置于兩側(cè)；隔板：藥液槽之間配有隔離板，防止藥液交叉污染；照明：機(jī)臺(tái)上方配照明（與工作區(qū)隔離）；機(jī)臺(tái)支腳：有滑輪裝置及固定裝置，并且有高低調(diào)整及鎖定功能。三色警示燈置于機(jī)臺(tái)上方明顯處。
工作槽參數(shù)	剝離洗槽槽體：不銹鋼316，有效尺寸405×220×260mm；化學(xué)藥品：剝離洗液；藥液供液：人工手動(dòng)加入；工作溫度：60℃并可調(diào)；溫度可調(diào)；加熱方式：五面體貼膜加熱/投入式加熱器加入熱；液位控制：采用N2背壓數(shù)位檢測(cè)；計(jì)時(shí)功能：工藝時(shí)間可設(shè)定，并可調(diào)，到設(shè)定時(shí)間后聲?shū)Q提示，點(diǎn)擊按鈕后開(kāi)始倒序計(jì)時(shí)；批次記憶：藥液使用次數(shù)可記憶，藥液供入時(shí)間可記憶，設(shè)定次數(shù)和設(shè)定時(shí)間到后更換藥液；排液：排液管道材質(zhì)為不銹鋼管，按鈕控制；槽蓋：配有手動(dòng)槽蓋； IPA槽槽體：不銹鋼316，有效尺寸405×220×260mm；化學(xué)藥品：IPA；供液：手動(dòng)供液工作時(shí)間：約5min并可調(diào)；工作溫度：常溫；排放: 槽體底部單獨(dú)直排； QDR槽槽體：長(zhǎng)×寬×高= 405×220×260mm，NPP板焊接而成；供水：雙管路自動(dòng)供水,3/4供水管徑，1/2溢流給水管，氣動(dòng)閥控制；工作溫度：RT；溢流方式：四面溢流,溢流口為波紋狀；噴淋: 由槽體頂部?jī)蓚?cè)的DIW噴淋管和噴嘴實(shí)現(xiàn)；鼓泡：槽底部安裝N2鼓泡系統(tǒng)，均勻鼓泡，也可根據(jù)需要關(guān)閉；排放:氣動(dòng)閥控制快速排放，N P P排放管路，快速排放時(shí)間≤7秒；工藝流程：水滿→放入花籃→氮?dú)夤呐荽蜷_(kāi)→溢流漂洗＋氮?dú)夤呐荨炫砰y打開(kāi)，快速排放，→噴淋→快排閥關(guān)閉，同時(shí)底部注水，一次沖洗快排工藝結(jié)束；
設(shè)備制造商	南通華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司；