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空氣制冷卡盤系統(tǒng)-探針臺(tái)chiller
發(fā)布時(shí)間：2026-7-9空氣制冷卡盤系統(tǒng)是一種以壓縮空氣為制冷介質(zhì)的精密溫控設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體、電子等行業(yè)的晶圓或器件測(cè)試環(huán)節(jié)，實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)工件的穩(wěn)定夾持與準(zhǔn)確溫度控制。無錫冠亞恒溫作為專業(yè)工業(yè)溫控設(shè)備廠家，其GY-CP系列空氣制冷卡盤系統(tǒng)采用純空氣制冷技術(shù)，不使用液體冷媒或帕爾貼元件，具備高可靠性與穩(wěn)定性。
空氣制冷卡盤系統(tǒng)工作原理
系統(tǒng)通過專用冷卻機(jī)對(duì)壓縮空氣進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，經(jīng)密閉通道輸送至卡盤內(nèi)部，實(shí)現(xiàn)對(duì)卡盤平板的均勻冷卻與加熱。配合分布式溫度傳感器與PID+PLC復(fù)合控制算法，可準(zhǔn)確控制溫度波動(dòng)在±0.5℃以內(nèi)，滿足精密測(cè)試需求。
空氣制冷卡盤系統(tǒng)主要特點(diǎn)與規(guī)格
· 純空氣制冷，無液體泄漏風(fēng)險(xiǎn)，維護(hù)簡便
· 溫度范圍覆蓋-65℃至+200℃，支持定制化溫度區(qū)間
· 適配8英寸、12英寸等多種晶圓尺寸，提供非標(biāo)定制
· 低噪音運(yùn)行，適合低噪音測(cè)試環(huán)境需求
空氣制冷卡盤系統(tǒng)典型應(yīng)用場(chǎng)景
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓變溫電學(xué)測(cè)試、功率器件建模、可靠性評(píng)估、射頻變溫測(cè)試等領(lǐng)域，為晶圓級(jí)測(cè)試提供穩(wěn)定可靠的溫控平臺(tái)。無錫冠亞恒溫憑借多年工業(yè)溫控經(jīng)驗(yàn)，可為客戶提供從設(shè)備選型到售后維護(hù)的全流程服務(wù)，助力提升測(cè)試效率與數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。