一般特性

• 基于 PC 的儀器，具有 Windows ® XP Professional 操作系統(tǒng)
• 針對(duì)電流－電壓（IV）、電容－電壓（CV）、脈沖生成、快速 IV和時(shí)域測(cè)量的綜合解決方案。
• 用于電源監(jiān)測(cè)單元（SMU）和其他模塊類(lèi)型（MFCMU、HV-SPGU 和 WGFMU）的 10 個(gè)模塊插槽
• 通過(guò) Desktop EasyEXPERT 軟件進(jìn)行離線數(shù)據(jù)分析和應(yīng)用測(cè)試開(kāi)發(fā)

測(cè)量能力

• 支持 0.1fA 和 0.5µV 電流－電壓（IV）測(cè)量
• 支持準(zhǔn)靜態(tài)和中頻電容－電壓（CV）測(cè)量
• 支持精確的快速 IV 和時(shí)域測(cè)量，適用于各種應(yīng)用，例如脈沖 IV、NBTI 和 RTS 噪聲（RTN）測(cè)量。
• 支持用于大功率和存儲(chǔ)器測(cè)試的高電壓脈沖生成（高達(dá) ±40 V）功能。

描述

總結(jié)

Agilent B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀是一款具有 10 插槽配置的模塊化儀器，可支持 IV 和 CV 測(cè)量及快速高電壓脈沖測(cè)量。它采用常見(jiàn)的 Microsoft ® Windows ® 用戶界面，可支持 Agilent EasyEXPERT 軟件。該軟件為器件表征提供更直觀的、面向任務(wù)的新方法。Agilent B1500A 具有的低電流、低電壓和集成電容測(cè)量能力，因此可滿足廣泛的半導(dǎo)體器件表征需求（IC-CAP 支持 B1500A）。它還是一款用于非易失存儲(chǔ)單元表征和高速器件表征（包括 NBTI 和 RTS 噪聲（RTN）測(cè)量）的出色解決方案。

B1500A 目前具有 7 種模塊。請(qǐng)參見(jiàn)本頁(yè)底部的模塊選型表。

應(yīng)用主題

現(xiàn)已提供有關(guān)太陽(yáng)能電池表征的新應(yīng)用指南和示例程序。請(qǐng)?jiān)L問(wèn) “用于太陽(yáng)能電池測(cè)試的精密 SMU 產(chǎn)品”頁(yè)面。

模塊信息

• B1500A 支持 3 類(lèi) SMU 和 ASU，以執(zhí)行超精密測(cè)量。有關(guān) SMU 的更多信息，請(qǐng)參見(jiàn)本頁(yè)的模塊選型指南。
• B1525A（HV-SPGU：高電壓――半導(dǎo)體脈沖發(fā)生器單元）模塊可提高閃存測(cè)試的吞吐量。 B1525A 演示網(wǎng)頁(yè)提供在線演示視頻。
• B1530A（WGFMU：波形發(fā)生器和快速測(cè)量單元）模塊可幫助您執(zhí)行以前無(wú)法進(jìn)行的關(guān)鍵脈沖測(cè)量。更多信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn) B1530A 產(chǎn)品頁(yè)面。

相關(guān)鏈接

• B1500A 提供各種脈沖解決方案。新的安捷倫選型指南可幫助您選擇適合您應(yīng)用的解決方案。更多信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn) 安捷倫脈沖 IV 參數(shù)測(cè)試解決方案頁(yè)面。 安捷倫脈沖 IV 參數(shù)測(cè)試解決方案頁(yè)面。
• EasyEXPERT 和 Desktop EasyEXPERT 不但可以幫助您提高測(cè)量效率，而且還可提供易于使用的測(cè)試環(huán)境。更多信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn) EasyEXPERT 頁(yè)面。 EasyEXPERT 頁(yè)面。
• 安捷倫低泄漏開(kāi)關(guān)矩陣系列能夠靈活地生成自動(dòng)化測(cè)量解決方案，而不會(huì)影響測(cè)量性能。更多信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn) 開(kāi)關(guān)矩陣系列頁(yè)面。開(kāi)關(guān)矩陣系列頁(yè)面。

特性和優(yōu)勢(shì)

• 優(yōu)異的 IV 測(cè)量性能：0.1 fA / 0.5 µV 測(cè)量分辨率
  - 測(cè)量特性包括單通道和多通道掃描、時(shí)間采樣、列表掃描、準(zhǔn)靜態(tài) CV（使用 SMU）、直接控制和針對(duì) HV-SPGU 的任意線性波形生成（ALWG）GUI。
• 可選的集成電容模塊支持高達(dá) 5 MHz 的 CV 測(cè)量
• 基于定位器的可選 CV-IV 開(kāi)關(guān)解決方案提供 0.5 µV 的電壓測(cè)量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1 fA 的電流測(cè)量分辨率能力
• 使用內(nèi)置半自動(dòng)晶圓探頭驅(qū)動(dòng)程序可輕松自動(dòng)完成測(cè)試；在快速測(cè)試模式下，用戶無(wú)需編程即可排列測(cè)試順序
• 可選的高電壓半導(dǎo)體脈沖發(fā)生器單元（HV-SPGU）具有 10 ns 的可編程脈沖寬度和 +/- 40 V（80 V 峰峰值）輸出
• 可選的波形發(fā)生器/快速測(cè)量單元（WGFMU）提供 ALWG 和快速電流或電壓測(cè)量能力
• 10 ns 脈沖 IV 解決方案，用于表征高 k 柵極電介質(zhì)和 SOI（絕緣硅）晶體管
• 典型測(cè)試模式可提供 4155/4156 界面的外觀、風(fēng)格和術(shù)語(yǔ)，同時(shí)通過(guò)充分利用 Microsoft ® Windows ® GUI 特性可加強(qiáng)用戶交互

模塊選型指南