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詳細(xì)介紹
美國 HVA 三位真空閘閥 21700 系列
HVA 三位真空閘閥 21700 系列適用于刻蝕、 CVD、真空鍍膜和其他需要壓力控制工藝的行業(yè)。HVA 三位真空閘閥與上游質(zhì)量流量控制器一起使用時(shí)，提供異常壓力控制功能，該真空閘閥也適用于從粗真空到高真空的平穩(wěn)過渡。HVA 三位真空閘閥采用兩個(gè)氣動電磁閥和一個(gè)空氣壓力調(diào)節(jié)器控制閥門的3種開啟方式：一個(gè)電磁閥控制閥門的*關(guān)閉和*開啟，另一個(gè)電磁閥用于控制和調(diào)節(jié)閥門的任意開啟位置。21700 系列三位真空閘閥廣泛應(yīng)用于低溫泵、渦輪分子泵、離子泵及其他對清潔度要求高、低除氣的高真空行業(yè)。.
HVA 三位真空閘閥 21700 系列產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 機(jī)械預(yù)設(shè)、遙控過渡閥位
2. 三個(gè)位置都有指示器
3. 標(biāo)準(zhǔn)或者定制法蘭
4. 至少一百萬使用周期
5. 任意位置安裝
HVA 三位真空閘閥 21700 系列技術(shù)參數(shù)：
閥門材質(zhì)： | |
閥門主體 | 304不銹鋼 |
焊接波紋管軸封 | AM-350 |
驅(qū)動軸和驅(qū)動銷 | 硬質(zhì)不繡鋼 |
閥門密封方式： | |
高真空 | 氟橡膠 |
漏率 | <2×10-9 mbar l/s |
差壓關(guān)閉 | 1 bar |
真空： | |
壓力范圍 | 高真空1x10-9 mbar |
漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
差壓關(guān)閉 | 1 bar (任意位置) |
開啟前大壓力 | ≤ 30 mbar |
烘烤溫度（不含電磁閥）： | |
閥門主體 | 150 °c |
驅(qū)動方式 | 氣動 60 °c |
使用壽命：100,000啟閉次數(shù) | |
公稱通徑：DN100-320 mm | |
HVA 三位真空閘閥 21700 系列訂貨號及2D,3D展示圖
DN | Model | KF/ISO-F | ISO-K | CF-F* | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
mm | inch | Number | 3 (Bolted) | 6 (Clamped) | 0 or 4 (Conflat) | |||
100 | 4.00 | 21712-040_R | 2D | 3D | 2D | 3D | 2D | 3D |
160 | 6.00 | 21712-060_R | 2D | 3D | 2D | 3D | 2D | 3D |
200 | 8.00 | 21712-080_R | 2D | 3D | 2D | 3D | 2D | 3D |
250 | 10.00 | 21712-100_R | 2D | 3D | - | 2D | 3D | |
320 | 12.00 | 21712-120_R | 2D | 3D | - | 2D | 3D | |
HVA 三位真空閘閥 21700 系列部件圖
美國 HVA 真空閥門-美國大真空閥門制造商。美國HVA*真空閥門，超過50年的高真空和超高真空閥門設(shè)計(jì)與制造。主營高真空閘閥，高真空角閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜、激光、科研、工業(yè)等領(lǐng)域。上海伯東是美國HVA 真空閥門在中國地區(qū)總代理商。
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