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考夫曼離子源中空陰極 Hollow Cathodes

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品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式：葉南晶查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2021-12-28 15:15:36瀏覽次數(shù)：539次

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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 進(jìn)口 產(chǎn)品新舊 全新

上海伯東美國 KRI 考夫曼離子源提供中空陰極 e-Mission Hollow Cathodes 結(jié)構(gòu)緊湊, 重量輕, 可以安裝在離子源或真空系統(tǒng)的側(cè)面, 相對于燈絲的模式有更長的使用壽命, 這在運(yùn)行忌諱突然中斷的復(fù)雜工藝時(shí), 是非常有意義的.

詳細(xì)介紹

<strong>考夫曼離子源中空陰極 Hollow Cathodes</strong>

離子源中空陰極 e-Mission Hollow Cathodes
上海伯東美國 KRI 考夫曼離子源提供中空陰極 e-Mission Hollow Cathodes 結(jié)構(gòu)緊湊, 重量輕, 可以安裝在離子源或真空系統(tǒng)的側(cè)面, 相對于燈絲的模式有更長的使用壽命, 這在運(yùn)行忌諱突然中斷的復(fù)雜工藝時(shí), 是非常有意義的. 而且離子源中空陰極 Hollow cathode 輻射的熱量更低, 可以使襯底獲得更低的溫度,對于對溫度敏感的襯底材料而言, 使用中空陰極更有優(yōu)勢.

離子源中空陰極 Hollow Cathodes 型號

Model

HFx

SHC1000

DSHC1000

Cathode

Yes

Yes

Yes

Neutralizer

Yes

Yes

Yes

Orientation

Vertical / Horizontal

Vertical / Horizontal

Vertical / Horizontal

Regulation

Emission

Emission

Emission

Operational gas

None

Inert

Inert

Process gases

Inert & reactive

Inert & reactive

Inert & reactive

Power Controller

FC100x

e- Mission Power Pack

e- Mission Power Pack

 

Model

MHC1000

LHC1000

Cathode

Yes

Yes

Neutralizer

Yes

Yes

Orientation

Vertical / Horizontal

Vertical / Horizontal

Regulation

Emission

Emission

Operational gas

Inert

Inert

Process gases

Inert & reactive

Inert & reactive

Power Controller

e- Mission Power Pack

e- Mission Power Pack

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創(chuàng)立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發(fā)生產(chǎn)考夫曼離子源, 霍爾離子源和射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經(jīng) 40 年改良及發(fā)展已取得多項(xiàng). 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領(lǐng)域, 上海伯東是美國考夫曼離子源中國總代理.

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 葉小姐                                  中國臺灣伯東: 王小姐


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