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電子束蒸發(fā)系統(tǒng) E-beam

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參考價(jià):￥1200000 - ￥10000000 /臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)
品牌
其他品牌
廠商性質(zhì)
經(jīng)銷商
所在地
上海市

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聯(lián)系方式：葉南晶查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2023-08-31 13:30:30瀏覽次數(shù)：2619次

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產(chǎn)品分類 品牌分類

  氦質(zhì)譜檢漏儀
  Europlasma 防水涂層設(shè)備
  氣體分析儀
  真空泵
  真空閘閥,真空插板閥
  真空鍍膜機(jī)
  德國 Pfeiffer

檢漏儀

羅茨泵

隔膜泵

真空計(jì),真空規(guī)
  美國 KRI 離子源
  美國 Nor-Cal 真空閥門
  真空閥門
  美國 ATC 空氣泄漏測試儀
  ANEST IWATA 巖田渦旋干泵

  其他品牌

伯東企業(yè)（上海）有限公司

經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：94條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：葉南晶（銷售助理）

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地	進(jìn)口	產(chǎn)品新舊	全新

詳細(xì)介紹

因產(chǎn)品配置不同, 價(jià)格貨期需要電議, 圖片僅供參考, 一切以實(shí)際成交合同為準(zhǔn)

上海伯東代理進(jìn)口電子束蒸鍍?cè)O(shè)備是一種實(shí)用且高度可靠的系統(tǒng), 蒸鍍系統(tǒng)可針對(duì)量產(chǎn)使用單一坩堝也可以有多個(gè)坩堝來達(dá)到產(chǎn)品多層膜結(jié)構(gòu). 在基板乘載上針對(duì)半導(dǎo)體研究和大型設(shè)備設(shè)計(jì), 單片和多片公自轉(zhuǎn)的設(shè)計(jì)可以控制蒸發(fā)速率, 薄膜厚度和均勻度小于 +/- 3％. 腔體的極限真空度約為 10-8 Torr. 為了獲得盡可能大的制程靈活性, 可以結(jié)合美國 KRi 離子源進(jìn)行離子輔助沉積或者預(yù)清潔等功能.
電子束蒸發(fā)系統(tǒng)
上海伯東電子束蒸鍍?cè)O(shè)備配置和優(yōu)點(diǎn)
客制化的基板尺寸, 直徑可達(dá) 12寸晶圓
單載片或多載片 (2" x 32個(gè)，4" x 16個(gè)，6" x 6個(gè)，8" x 4個(gè)）
薄膜均勻度小于 ±3％
具有水冷坩堝的多組坩鍋旋轉(zhuǎn)電子束源 (1/2/4/6坩堝）
自動(dòng)鍍膜系統(tǒng)
具有順序操作或共沉積的多個(gè)電子束源
基板具有冷卻 (液態(tài)氮溫度低至-70°C) 或加熱 (溫度800°C) 等功能

電子束蒸鍍?cè)O(shè)備基本參數(shù)

系統(tǒng)	Real 超高真空	超高真空	高真空
極限真空	5X10-10 Torr	5X10-9 Torr	3X10-7 Torr
腔室密封	全部 CF	一些密封圈	全部密封圈
Load-lock	標(biāo)準(zhǔn)	標(biāo)準(zhǔn)	可選
E-beam 源	4-6 坩堝 7-25 cc	4-6 坩堝 7-25 cc	4-6 坩堝 7-25 cc
基板	4-8 英寸加熱 / 水冷 / 液氮冷卻	4-8 英寸加熱 / 水冷 / 液氮冷卻	4-8 英寸加熱 / 水冷 / 液氮冷卻
真空泵	低溫泵	低溫泵 / 分子泵	低溫泵 / 分子泵
監(jiān)控	真空規(guī) 和 QCM	真空規(guī) 和 QCM	真空規(guī) 和 QCM
工藝控制	速率控制	速率控制	速率控制
供氣	氮?dú)?/p>	氮?dú)?/p>	氮?dú)?/p>

電子束蒸鍍系統(tǒng)

腔體
由 304不銹鋼所制成, 通過外部焊接 304不銹鋼管線對(duì)腔體進(jìn)行水冷
寬大的前開式門, 并有兩個(gè)窗口和窗口遮版用于觀察基材和電子束源
腔體的極限真空度約為 10-8 Torr

選件
可以與傳送腔, 機(jī)械手臂和手套箱整合在一起
結(jié)合美國 KRi 離子源, 濺鍍槍, 熱蒸發(fā)源, 等離子清潔...

應(yīng)用領(lǐng)域
光學(xué)材料研究 (LED / Laser Diode)
光電元件
半導(dǎo)體元件

對(duì)傳統(tǒng)熱蒸發(fā)技術(shù)難以實(shí)現(xiàn)的材料蒸發(fā), 可采用電子束蒸發(fā)的方式來實(shí)現(xiàn). 不同于傳統(tǒng)的輻射加熱和電阻絲加熱, 高能電子束轟擊可實(shí)現(xiàn)超過 3000℃ 的局域高溫, 這使得絕大部分常用材料都可以被蒸發(fā)出來, 甚至是高熔點(diǎn)的材料, 例如, Pt, W, Mo, Ta 以及一些氧化物, 陶瓷材料等. 上海伯東代理的電子束蒸發(fā)源可承載 1-6種不同的材料, 實(shí)現(xiàn)多層膜工藝; 蒸發(fā)源本身防污染設(shè)計(jì), 使得不同材料之間的交叉污染降到盡可能低.

若您需要進(jìn)一步的了解電子束蒸鍍?cè)O(shè)備詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)聯(lián)絡(luò)上海伯東葉女士 107

現(xiàn)部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯(lián)絡(luò)上海伯東葉女士
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