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更新時(shí)間：2021-10-06 20:34:13瀏覽次數(shù)：604次
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HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列為百萬(wàn)周期真空閘閥, 專為高真空應(yīng)用而設(shè)計(jì), 特別適合 1x10-9 mbar 高真空且烘烤溫度不超過(guò) 150C的應(yīng)用.HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列內(nèi)部沒(méi)有機(jī)械鎖, 非常適合對(duì)于要求無(wú)振動(dòng)運(yùn)行的半導(dǎo)體和敏感工藝. 所有活動(dòng)關(guān)節(jié)的軸都經(jīng)過(guò)硬化處理, 減少了顆粒物的產(chǎn)生并提供了更平穩(wěn)的驅(qū)動(dòng).清潔和高密封性保證 HVA ......
HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列產(chǎn)品特點(diǎn):
1. 直線驅(qū)動(dòng)允許使用焊接波紋管來(lái)密封驅(qū)動(dòng)器.
2. *的氣缸設(shè)計(jì)使沖擊和振動(dòng)減少到最小.
3. HVA真空閘閥 21200 系列真空腔內(nèi)沒(méi)有機(jī)械鎖, 因此特別適合應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和其他要求低振動(dòng)的敏感加工工業(yè).
4. 所有移動(dòng)的接頭都有硬軸有效減少微粒的產(chǎn)生并且使驅(qū)動(dòng)更容易.
5. HVA 不銹鋼閥體真空閘閥提供了真空閥門業(yè)界最小的內(nèi)部表面區(qū)域.
6. 閥體和所有內(nèi)部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr的真空爐中一體釬焊完成, 確保了閥門的完整性.
7. 在保養(yǎng)方面, 支架部分可以拆掉而不用把真空閥門從整個(gè)系統(tǒng)中拆卸出來(lái).
8. 閥門驅(qū)動(dòng)手動(dòng)、氣動(dòng)可選.
9. 標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭滿足不同應(yīng)用.
10. HVA 標(biāo)準(zhǔn)周期真空閥門 21200 系列可任意位置安裝.
11. 電磁閥控制并帶有手動(dòng)超控.
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