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日本HORIBA STEC-Z512MGX數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器

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更新時間：2026-05-15 07:25:04瀏覽次數(shù)：69次

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產(chǎn)品簡介

概要質(zhì)量流量計它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導(dǎo)體制程成敗的關(guān)鍵因素

詳細介紹

概要
質(zhì)量流量計它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導(dǎo)體制程成敗的關(guān)鍵因素。
HORIBA STEC, 作為范圍內(nèi)超過35%*1的流量計生產(chǎn)商, 長期以來始終如一的為半導(dǎo)體工業(yè)提供高質(zhì)量、多功能的產(chǎn)品。
在提供客戶所需流量控制的所有功能的同時, 實現(xiàn)了復(fù)合氣體、復(fù)合流量的轉(zhuǎn)換?？蛻艨梢愿鶕?jù)制程需要，輕松地更改流量計氣體種類和量程*2。
Z500系列全面滿足了 RoHS 綠色產(chǎn)品的設(shè)計要求，為客戶提升產(chǎn)品價值。
高性能的Z500系列流量計，將帶給您更多驚喜。
*1 參考 VLSI's 2007 研究報告。
*2 復(fù)合氣體、復(fù)合流量功能。
特征
高精度：設(shè)定流量值±1.0%.
MFC的線性精度是由多項式近似曲線進行補償?shù)模?此技術(shù)保證在各控制范圍內(nèi)獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度， HORIBA STEC研發(fā)了標準的氣體測量系統(tǒng)，并在大量實驗的基礎(chǔ)上，采集各種制程氣體的校準數(shù)據(jù)。
高速響應(yīng)
SEC-Z500X 使用了開發(fā)的“可更改PID"系統(tǒng)，保證任意兩個設(shè)定流量點之間的更改在1秒鐘之內(nèi)完成在設(shè)定不同流量時，PID數(shù)據(jù)將進行自動的調(diào)整，即使在氣體種類和流量范圍變更后，PID數(shù)據(jù)也能夠自動優(yōu)化，實現(xiàn)高速響應(yīng)。
復(fù)合氣體、復(fù)合流量方案
HORIBA STEC 新產(chǎn)品讓客戶輕松地在現(xiàn)場更改氣體種類和流量成為現(xiàn)實. 我們的 Z500 設(shè)置軟件簡單、易用. 更好的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來。如此一來，就可以很大程度上減少客戶備品的數(shù)量，同時節(jié)省了時間和成本。
產(chǎn)品相關(guān)圖及其它