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方法 | 參考標(biāo)準(zhǔn) | 優(yōu)點(diǎn) | 缺點(diǎn) | 適用范圍 |
光度計(jì)掃描法-PAO法 | GB50591-2010 ISO14644-3 | 1、簡(jiǎn)單易學(xué),判斷標(biāo)準(zhǔn)0.01%易懂, 2、對(duì)背景環(huán)境的要求沒(méi)有計(jì)數(shù)器法高,瞬時(shí)讀數(shù)。 | 1、發(fā)塵量大,對(duì)過(guò)濾器有一點(diǎn)污染 2、過(guò)濾器安裝需要留有檢漏口,適用于新建廠房 | 適合與HEPA,不適合ULPA 光度計(jì),只能針對(duì)油類(lèi)氣溶膠 |
大氣塵檢漏法(粒子計(jì)數(shù)器法) | GB50591-2010 潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范 | 不需要人為發(fā)塵,對(duì)過(guò)濾器幾乎沒(méi)有污染。 | 對(duì)背景要求高,環(huán)境潔凈度對(duì)檢漏結(jié)果有影響 | 氣溶膠對(duì)產(chǎn)品有污染的地方,如特定電子廠。 |
粒子計(jì)數(shù)掃描法 | ISO14644-3潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 | 發(fā)塵量,污染少。可直接顯示顆粒粒徑。漏點(diǎn)值表達(dá)明確。 | 新方法;對(duì)背景環(huán)境有要求高;操作難度規(guī)范性高。 | 適用于HEPA及ULPA 適用于油類(lèi)/固體類(lèi)氣溶膠 |

高效過(guò)濾器檢漏計(jì)數(shù)法
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微生物實(shí)驗(yàn)室高效過(guò)濾器檢漏(計(jì)數(shù)法/PAO法)
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