2025年9月4日，備受矚目的第十三屆半導(dǎo)體設(shè)備材料與核心部件展示會(huì)在無(wú)錫太湖國(guó)際博覽中心隆重舉行。本屆半導(dǎo)體設(shè)備年會(huì)以“做強(qiáng)中國(guó)芯，擁抱芯世界”為主題，匯聚了半導(dǎo)體設(shè)備制造商、傳感器制造企業(yè)及產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)，科研院所的專家學(xué)者，分享最新科研成果與實(shí)際應(yīng)用案例，共同探討如何通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新賦能產(chǎn)業(yè)升級(jí)。


 
KANOMAX攜塵埃粒子計(jì)數(shù)器、熱式風(fēng)速儀、風(fēng)速變送器、微差壓計(jì)等檢測(cè)儀器亮相B3-328展位。








 
展臺(tái)前人流涌動(dòng)，半導(dǎo)體材料企業(yè)的研發(fā)人員、Fab廠的技術(shù)負(fù)責(zé)人紛紛駐足咨詢，加野工作人員耐心細(xì)致地介紹儀器的性能特點(diǎn)、應(yīng)用場(chǎng)景，并現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行產(chǎn)品演示，讓大家直觀感受產(chǎn)品的出色性能。




 
粒子計(jì)數(shù)器在半導(dǎo)體制造環(huán)境中應(yīng)用
在半導(dǎo)體芯片制造過(guò)程中，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度要求較高，必須禁止因粉塵顆粒、工藝偏差等因素造成晶體短路或斷路，控制凈化環(huán)境下的作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)中超微小顆粒物數(shù)量，以保證產(chǎn)品質(zhì)量和提升產(chǎn)品良率。
 


在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)過(guò)程中，粒子計(jì)數(shù)器主要應(yīng)用于：
1. Fab廠的制造工藝檢測(cè)：在晶圓的光刻、涂膠顯影、刻蝕等多個(gè)工藝環(huán)節(jié)中，使用粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)環(huán)境中的塵埃粒子，確保工藝的精確性。
2. 封裝過(guò)程：在晶圓切割封裝過(guò)程中，粒子計(jì)數(shù)器同樣發(fā)揮著關(guān)鍵作用，保證封裝質(zhì)量。
3. 半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)工藝的質(zhì)量監(jiān)測(cè)：通過(guò)粒子計(jì)數(shù)器對(duì)設(shè)備工藝點(diǎn)進(jìn)行監(jiān)控，確保生產(chǎn)過(guò)程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。


 
超小型塵埃粒子計(jì)數(shù)器3950，專為半導(dǎo)體芯片制造環(huán)境設(shè)計(jì)，其能夠精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)0.1μm和0.3μm的微小粒子，且具備致輕致小的優(yōu)勢(shì)，也可作為傳感器嵌入生產(chǎn)設(shè)備實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)的超微粒子，為凈化作業(yè)環(huán)境的潔凈度評(píng)定提供了可靠依據(jù)。憑借0.1μm級(jí)的精準(zhǔn)檢測(cè)技術(shù)，為 “中國(guó)芯” 制造的每一個(gè)微觀環(huán)節(jié)筑牢質(zhì)量防線。
 



風(fēng)速儀在半導(dǎo)體制造環(huán)境中應(yīng)用
在半導(dǎo)體制造中，顯影、刻蝕、切割等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)，其環(huán)境風(fēng)速（潔凈室及設(shè)備內(nèi)部局部風(fēng)速）直接影響工藝精度、良率及產(chǎn)品可靠性。合理的風(fēng)速能形成穩(wěn)定的 “層流/亂流場(chǎng)”，將微粒（如光刻膠殘?jiān)?、刻蝕副產(chǎn)物、切割粉塵）帶走，避免其附著在晶圓表面導(dǎo)致缺陷；
同時(shí)，風(fēng)速異常（過(guò)高/過(guò)低/不均）會(huì)直接引發(fā)良率損失。例如，光刻環(huán)節(jié)風(fēng)速波動(dòng)5%可能導(dǎo)致線寬偏差0.03μm（7nm工藝線寬偏差允許值僅0.02μm），直接導(dǎo)致芯片失效。


 
涂膠顯影設(shè)備對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度要求較高，尤其是光刻膠涂布和顯影過(guò)程中，微小的顆粒的污染可能導(dǎo)致光刻圖案缺陷，影響芯片性能。需要通過(guò)風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元（FFU）高效過(guò)濾器（如HEPA或ULPA）提供潔凈的空氣，有效去除環(huán)境中的顆粒物，確保晶圓表面無(wú)污染，從而提高光刻圖案的精度和成品率。


 
KANOMAX環(huán)境測(cè)試儀65Ser能夠準(zhǔn)確捕捉潔凈室及設(shè)備內(nèi)部的風(fēng)速變化，無(wú)論是微小的風(fēng)速波動(dòng)還是局部區(qū)域的風(fēng)速差異，同時(shí)測(cè)量風(fēng)速、溫度、濕度、壓力、輸入管道截面的形狀及尺寸從而計(jì)算出風(fēng)量，8種探頭可供選擇，憑借高精度、探頭互換性、穩(wěn)定性、易操作性及多參數(shù)測(cè)量顯示等特點(diǎn)在半導(dǎo)體制造設(shè)備行業(yè)得到廣泛應(yīng)用。



KANOMAX在半導(dǎo)體潔凈技術(shù)領(lǐng)域深耕多年，已經(jīng)贏得了眾多客戶的信賴和認(rèn)可。公司將持續(xù)加大研發(fā)投入，不斷推出具有競(jìng)爭(zhēng)力的新產(chǎn)品和新技術(shù)，滿足市場(chǎng)的不斷變化和升級(jí)需求，為推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展和進(jìn)步做出更大的貢獻(xiàn)。
感謝各位蒞臨加野KANOMAX展臺(tái)參觀交流，明日精彩繼續(xù)，讓我們共同見(jiàn)證半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展新征程！