SC20型主動(dòng)消磁系統(tǒng)

當(dāng)今高精電子束設(shè)備對(duì)環(huán)境磁場(chǎng)及其動(dòng)態(tài)變化是非常敏感的。環(huán)境磁場(chǎng)使電子束產(chǎn)生偏移，從而導(dǎo)致設(shè)備分辨率和測(cè)量精度的減低。SC20系統(tǒng)由磁場(chǎng)控制單元、一兩個(gè)交流或直流磁場(chǎng)傳感器以及裝在待消磁房間里的三根多芯電纜（三維空間線圈）組成，是一種三維的交直流磁場(chǎng)補(bǔ)償系統(tǒng)。傳感器測(cè)量空間環(huán)境中交直流磁場(chǎng)及其變化量，磁場(chǎng)控制單元以實(shí)時(shí)負(fù)反饋環(huán)路控制方式調(diào)節(jié)三個(gè)線圈中的電流來(lái)創(chuàng)建一個(gè)與環(huán)境磁場(chǎng)變化相反的磁場(chǎng)信號(hào)，抵消環(huán)境磁場(chǎng)給電子束設(shè)備帶來(lái)的影響，恢復(fù)設(shè)備應(yīng)有的分辨率和精度。這是一個(gè)動(dòng)態(tài)系統(tǒng)，對(duì)磁場(chǎng)躍變自動(dòng)響應(yīng)的速度在100微秒以內(nèi)。 市電（50/60 Hz）頻率的交流背景磁場(chǎng)可被消除至50分之一；直流背景磁場(chǎng)可被消除至200分之一。

SC20型主動(dòng)消磁系統(tǒng)特點(diǎn)及技術(shù)參數(shù)：

通過(guò)穩(wěn)定磁場(chǎng)環(huán)境確保您購(gòu)置的電子束科技設(shè)備應(yīng)有性能 
消除和監(jiān)測(cè)交直流磁場(chǎng) 
簡(jiǎn)單的“一勞永逸”式操作，連續(xù)實(shí)時(shí)補(bǔ)償磁場(chǎng) 
磁場(chǎng)躍變響應(yīng)速度：100 μs以內(nèi) 
交流或直流磁場(chǎng)傳感器 
交流磁場(chǎng)可消除范圍：0.5 Hz to 5 kHz；市電60 Hz（典型）的交流背景磁場(chǎng)可被改善50倍 
直流磁場(chǎng)可消除范圍：DC to 5 kHz；直流背景磁場(chǎng)可被改善200倍 
完整的X, Y, Z三軸消磁系統(tǒng) 
可消除場(chǎng)強(qiáng)高達(dá)80 mG (8.0 μT) pk-pk 
高靈敏度傳感器，可精確反饋環(huán)境磁場(chǎng)變化；支持多路傳感器，用于抵消TEM透射電鏡和CD關(guān)鍵尺寸電子束顯微在線檢測(cè)設(shè)備的環(huán)境磁場(chǎng) 
網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控（選項(xiàng)）