ILMVAC伊爾姆螺桿泵“干式運行”
　　 新的螺旋干式泵被用于工業(yè)和實驗室有真空需求的地方，它可作為單個單級泵使用或與其他真空泵組合使用，與媒介相接觸的部位涂有特殊抗化學腐蝕的表層。此泵有一個氣壓載裝置，能保證抽吸一定壓力的蒸汽。如果在泵體內(nèi)形成冷凝液，由于泵的垂直構(gòu)造使它能很順利地流出。螺旋干式泵的工作壓力范圍從初真空到高真空。因為干式運轉(zhuǎn)，所以沒有真空泵油微粒反滲進泵的吸入口，并終避免進入與之相連接的設(shè)備。此外省略了麻煩的泵油的加注和排出，使泵在使用中更加方便干凈。 在實驗室和工業(yè)中主要應用在：
- 真空干燥
- 凍干干燥
- 真空蒸餾
- 旋片泵和雜交泵的替代泵
- 高真空泵的前泵
- 半導體技術(shù)
- 顯示器的生產(chǎn)
- 電子顯微
- 化學氣相技術(shù)

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