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技術文章

硅片烘干設備加持微波干燥生產線批量下線投產

發(fā)布時間:2019-1-19

環(huán)保型硅片烘干設備技術特點:實現物料的無污染和均勻干燥,同時可大幅降低干燥溫度;干燥速度通常提高數倍以上,生產效率大幅提高;干燥能耗通常降低50%以上;實現安全潔凈生產。

設備采用隧道式結構,流水線式生產,全程自動化,操作簡單,可靈活控制,可節(jié)省人工,并對人工技術要求低,是現代化企業(yè)選購設備的sou選。硅片微波烘干設備概念 硅片烘干設備主要用于硅片與多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工藝處理。  

硅片烘干設備工藝系統(tǒng)特點,本系列硅片烘干設備主要用于硅片與多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工藝處理。 本系列烘干設備采用數顯溫度調節(jié)儀進行溫度控制、控溫靈敏、操作簡便、性能可靠,數字直接顯 示出工作溫度,直觀易讀。

本系列烘干設備采用連續(xù)式流水線傳輸帶烘干方式,烘干速度快,在3分鐘內烘干溫度可以提高到135℃-150℃,物料烘干溫度可在80℃至250℃之間任意選擇;能自動切斷電源,提率,節(jié)能,保護設備和產品。該設備具有物料與金屬*不接觸,改善傳統(tǒng)烘干環(huán)境,提高產品質量。

硅片烘干設備優(yōu)勢,硅片隧道式干燥設備箱體結構: 設計,箱體采用數控機床加工成型,操作容易。內膽采用SUS304不銹鋼板,外殼為全不銹鋼設計制造,更顯光潔、美觀。電路系統(tǒng)側采用門式開啟,方便維護和檢修。

    硅片烘干設備控制執(zhí)行系統(tǒng): 溫度控制器采用觸摸按鍵、數顯LED顯示、PID智能控制儀表; 采用美國大紅外測溫技術,溫度準確度±2℃。硅片烘設備保護系統(tǒng): 整機保護系統(tǒng)由超溫保護及報警裝置構成。保證了執(zhí)行元器件及試件的完好。設備自動化程度高,節(jié)省勞動力,提高生產效率,是生產*的好幫手。

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