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詳細(xì)介紹
簡(jiǎn)介
"Ethos"是一款集高性能與高靈活性于一身的科學(xué)儀器，采用高亮度冷場(chǎng)發(fā)射電子槍和電磁復(fù)合透鏡，支持低加速電壓下的高分辨觀察和實(shí)時(shí)FIB加工。配備三個(gè)探測(cè)器，能夠同時(shí)獲取形貌像和成分襯度像，便于目標(biāo)物的觀察與加工。其超大樣品倉兼容多種分析儀器，如EDS和EBSD，并配置超大防振樣品臺(tái)，適合直徑達(dá)150mm的樣品處理。該設(shè)備不僅適用于半導(dǎo)體檢測(cè)，還廣泛應(yīng)用于各類樣品的綜合分析。核心功能包括雙模式SEM鏡筒、高通量加工、Micro Sampling System、Triple Beam System等，以實(shí)現(xiàn)高精度和低損傷加工。
高性能與高靈活性兼?zhèn)?/strong>
“Ethos"采用日立高新的核心技術(shù)--的高亮度冷場(chǎng)發(fā)射電子槍及新研發(fā)的電磁復(fù)合透鏡，不但可以在低加速電壓下實(shí)現(xiàn)高分辨觀察，還可以在FIB加工時(shí)實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)觀察。
SEM鏡筒內(nèi)標(biāo)配3個(gè)探測(cè)器，可同時(shí)觀察到二次電子信號(hào)的形貌像以及背散射電子信號(hào)的成分襯度像；可非常方便的幫助FIB找尋到納米尺度的目標(biāo)物，對(duì)其觀察以及加工分析。
另外，全新設(shè)計(jì)的超大樣品倉設(shè)置了多個(gè)附件接口，可安裝EDS*1和EBSD*2等各種分析儀器。而且NX5000標(biāo)配超大防振樣品臺(tái)，可全面加工并觀察直徑為150mm的樣品。
因此，它不僅可以用于半導(dǎo)體器件的檢測(cè)，而且還可以用于從生物到鋼鐵磁性材料等各種樣品的綜合分析。
*1
Energy Dispersive x-ray Spectrometer（能譜儀（EDS））
*2
Electron Backscatter Diffraction（電子背散射衍射（EBSD））
核心理念
1. 搭載兩種透鏡模式的高性能SEM鏡筒
HR模式下可實(shí)現(xiàn)高分辨觀察（半內(nèi)透鏡）
FF模式下可實(shí)現(xiàn)高精度加工終點(diǎn)檢測(cè)（Timesharing Mode）
2. 高通量加工
可通過高電流密度FIB實(shí)現(xiàn)快速加工（束流100nA）
用戶可根據(jù)自身需求設(shè)定加工步驟
3. Micro Sampling System*3
運(yùn)用ACE技術(shù)（加工位置調(diào)整）抑制Curtaining效應(yīng)
控制離子束的入射角度，制備厚度均勻的薄膜樣品
4. 實(shí)現(xiàn)低損傷加工的Triple Beam System*3
采用低加速（Ar/Xe）離子束，實(shí)現(xiàn)低損傷加工
去除鎵污染
5. 樣品倉與樣品臺(tái)適用于各種樣品分析
多接口樣品倉（大小接口）
超大防振樣品臺(tái)（150 mm□）
*3
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