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　　沸石轉(zhuǎn)輪吸附+廢氣焚化處理設(shè)備

　　沸石濃縮轉(zhuǎn)輪的主要成分為高硅鋁比沸石的吸附劑，可利用沸石特定孔徑對于半導體及光電業(yè)主要有機污染物(IPA、Acetone、PGME、PGMEA)具高吸、脫附效率的特性，使原本具高風量、低濃度的VOCs廢氣，經(jīng)沸石濃縮轉(zhuǎn)換成低風量、高濃度的廢氣，降低后端終處理設(shè)備的成本。

　　杰智取得目前沸石轉(zhuǎn)輪的日本大廠NICHIAS Corporation，中國臺灣及大陸地區(qū)沸石轉(zhuǎn)輪的代理權(quán)，此轉(zhuǎn)輪產(chǎn)品具有高溫脫附的技術(shù)，可在>300℃溫度下進行高效率的脫附工作，使高沸點VOCs殘留問題迎刃而解。

廢氣焚化爐

原理圖

　　沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚化系統(tǒng)主要是由沸石濃縮轉(zhuǎn)輪串連熱焚化爐(Thermal Oxidizer：TO、RTO)所組成的高效率VOCs廢氣處理系統(tǒng)，先由沸石轉(zhuǎn)輪自排入的制程廢氣中吸附VOCs污染物，再以濃縮轉(zhuǎn)輪脫附而出的高濃度廢氣進入溫度高于1,350℉(732ºC)的燃燒機中進行分子破壞分解。

　　燃燒處理后的多余熱能將自動運用于預熱進入燃燒機的高濃度廢氣，以及用于提供脫附濃縮轉(zhuǎn)輪污染物所需的熱氣。蜂巢式(honeycomb)沸石轉(zhuǎn)輪結(jié)構(gòu)吸附VOCs污染物所產(chǎn)生的壓降相當?shù)?，可使風車所需之電力減到最少。由于處理濃縮后的風量僅為進入系統(tǒng)風量的5%到20%，因此可相對縮小焚化尺寸，以維持更低的燃料成本。

　　專業(yè)設(shè)計及制造團隊累積多年所超過250套沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚化系統(tǒng)之實績及經(jīng)驗，并將整體系統(tǒng)采預組及模塊化設(shè)計，使轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)具備了最小的空間需求，且提供了持續(xù)性及無人化的操控模式，而少量的更換零組件更確保高度的運轉(zhuǎn)時間。

　　產(chǎn)制的轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)當濃縮倍率介于8倍到20倍之間時，能夠達到OCs95%~99%，甚至更高的處理效率。

　　★具有前后雙風車搭配非偶合平衡風管之揮發(fā)性有機廢氣凈化裝置(中國臺灣新型M310946、大陸新型1015573、韓國新型20-0443443)

　　★多孔道蜂巢狀吸附轉(zhuǎn)輪的水洗再生裝置(大陸新型1044099)

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沸石轉(zhuǎn)輪吸附+廢氣焚化

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